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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      URE-2000/35L光刻機(jī)

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地蘇州市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2023/8/10 15:26:12
      • 訪問次數(shù)229
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      蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司設(shè)立在環(huán)境優(yōu)美的蘇州新加坡工業(yè)園區(qū)內(nèi)。公司主要從事芯片微結(jié)構(gòu)加工,微流控芯片研發(fā)、制作與銷售服務(wù);提供芯片實(shí)驗(yàn)室組建整體解決方案(涉及不同材質(zhì)、不同精度微流控芯片實(shí)驗(yàn)室組建儀器設(shè)備和耗材的配置);微流體控制解決方案;中芯啟恒以技術(shù)服務(wù)為主體,解決客戶微流控問題的科技服務(wù)類公司。公司主要以在中國的企業(yè)研發(fā)部門、高等院校、中科院單位等以研發(fā)為主的機(jī)構(gòu)作為主要客戶群,希望通過我們專業(yè)的服務(wù)和不懈的努力將公司打造成為科學(xué)儀器行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品服務(wù)供貨商。我們堅信只要以市場為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生產(chǎn),以服務(wù)為動力,以發(fā)展求壯大,我們就會贏得更美好的一天!
      (1)曝光面積:100mm×100mm; (2)分辨力:1.0um(膠厚2.0 um的正膠,365nm波長)(3)對準(zhǔn)精度:≤±0.8μm...
      URE-2000/35L光刻機(jī) 產(chǎn)品信息

      主要技術(shù)參數(shù):

      1)曝光面積:100mm×100mm;

      2)照明不均勻性: 3%( f100mm范圍);

      3)分辨力:1.0um(膠厚2.0um的正膠,365nm波長)

      4)對準(zhǔn)精度:≤±0.8μm;

      5)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;

      6)樣片尺寸:直徑f15mm-- f100mm、厚度0.1mm--6mm;

      7)掩模相對于樣片運(yùn)動行程:X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:±6°;

      8)掩模樣片整體運(yùn)動范圍:X:6mm;Y:6mm

      9)曝光光源:紫外LED(進(jìn)口);

      10)曝光波長:365nm;

      11)曝光強(qiáng)度:≥20mW/cm2

      12)曝光定時:倒計時方式(0.1s—9999.9s任意設(shè)定).

      技術(shù)構(gòu)成與配置

      設(shè)備由曝光頭系統(tǒng)、對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)、CCD對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)等部分構(gòu)成。

      1)曝光頭系統(tǒng)包括:

      ◆ 進(jìn)口紫外LED光源模塊;

      ◆ LED光源整形模塊;

      ◆ XYZ光源位置調(diào)節(jié)臺;

      ◆ 光學(xué)系統(tǒng)(含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、場鏡組、反射鏡組);

      ◆ 冷卻風(fēng)扇。

      2)對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括:

      ◆ 掩模樣片相對運(yùn)動臺(XY);

      ◆ 轉(zhuǎn)動臺;

      ◆ 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),采用三爪加球氣浮自動調(diào)平方式;

      ◆ 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),采用電機(jī)加傳感器方式,可數(shù)字分離曝光間隙;

      ◆ 承片臺4個(f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸各1個);

      ◆ 掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸各1個)。

      3)CCD對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括

      ◆ 對準(zhǔn)光源LED燈;

      ◆ 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體;

      ◆ 目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個);

      ◆ 物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個);

      ◆ CCD部件;

      ◆ 22英寸寬屏液晶顯示器。

      4)電控系統(tǒng)包括

      ◆ 單片機(jī)控制系統(tǒng);

      ◆ 紫外LED電源模塊;

      ◆ 控制柜桌。

      5)氣動系統(tǒng)包括

      ◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)、電磁閥驅(qū)動、氣動儀表等 。

      (6).輔助設(shè)備配置:

      真空泵1臺(干泵)

       空氣壓縮機(jī)1臺;

      配套接管10m;

      (7).備品備件

      ◆ 對準(zhǔn)光源燈4只(LED-1W,不包括機(jī)器自帶的兩只);

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