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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      URE-2000/35A光刻機(jī)

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地蘇州市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2023/8/4 16:41:14
      • 訪問次數(shù)207
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      蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司設(shè)立在環(huán)境優(yōu)美的蘇州新加坡工業(yè)園區(qū)內(nèi)。公司主要從事芯片微結(jié)構(gòu)加工,微流控芯片研發(fā)、制作與銷售服務(wù);提供芯片實(shí)驗(yàn)室組建整體解決方案(涉及不同材質(zhì)、不同精度微流控芯片實(shí)驗(yàn)室組建儀器設(shè)備和耗材的配置);微流體控制解決方案;中芯啟恒以技術(shù)服務(wù)為主體,解決客戶微流控問題的科技服務(wù)類公司。公司主要以在中國的企業(yè)研發(fā)部門、高等院校、中科院單位等以研發(fā)為主的機(jī)構(gòu)作為主要客戶群,希望通過我們專業(yè)的服務(wù)和不懈的努力將公司打造成為科學(xué)儀器行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品服務(wù)供貨商。我們堅(jiān)信只要以市場為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生產(chǎn),以服務(wù)為動(dòng)力,以發(fā)展求壯大,我們就會(huì)贏得更美好的一天!
      產(chǎn)品介紹:1.技術(shù)特征—非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,全自動(dòng))和高校教學(xué)科研(可靠性好,演示方便),采用自動(dòng)找平,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能。...
      URE-2000/35A光刻機(jī) 產(chǎn)品信息

      1.技術(shù)特征

      1非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,全自動(dòng))和高校教學(xué)科研(可靠性好,演示方便)

      2采用自動(dòng)找平,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能,自動(dòng)分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙,采用350W進(jìn)口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制,性能非??煽?,自動(dòng)化程度很高,操作十分方便。

      2.技術(shù)參數(shù)


      1曝光面積:6英寸

      2曝光波長:365nm

      3分辨力:1-1.2mm(膠厚2 mm的正膠)

      4對準(zhǔn)精度:±0.8mm

      5掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X15mm;Y:15mm

      6掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

      7樣片尺寸:直徑f15mm-- f150mm(各種不規(guī)則片)                 

                        厚度0.1mm--6mm

      8曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)和定劑量

      9具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能

      10照明不均勻性: 6%f150mm 范圍)

      11雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)倍數(shù)400倍,光學(xué)+電子放大800

      物鏡三對:4倍、10倍、20

      目鏡三對:10倍、16倍、20

      12調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

      13數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

      14具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口

      15掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程:

         X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6o

      16)焦厚:350mmSU8膠,用戶提供檢測條件)

      17)光源平行性:3.5 o

      18曝光能量密度:>15mW/cm2,照明面溫度<35 o

      19單層曝光一鍵完成

      20采用球氣浮自動(dòng)找平

      21汞燈功率:350W(直流,進(jìn)口


      3.外形尺寸:1200mm(長)900mm() 1750mm(高)

      4.配置


      4.1. 曝光頭


      1冷光橢球鏡

      2350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

      3XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

      4冷卻風(fēng)扇

      5光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(79個(gè)透鏡)、i線濾光片、場鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2


      4.2. 對準(zhǔn)工件臺


      1掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺

      2掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺

      3轉(zhuǎn)動(dòng)臺

      4樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動(dòng)完成

      5樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),電機(jī)自動(dòng)調(diào)

      6基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

      7承片臺4個(gè):f15mm 、3英寸、4英寸、6英寸(可按用戶要求增減)

      8掩模夾4個(gè):3英寸、4英寸、5英寸、7英寸(可按用戶要求增減)


      4.3. 對準(zhǔn)顯微鏡


      1光源(配備品2只)、 電源

      2雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

      3目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個(gè))

      4物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個(gè))

      5CCD對準(zhǔn)系統(tǒng),21寸液晶顯示器


      4.4. 電控系統(tǒng)


      1汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

      2單片機(jī)控制系統(tǒng)

      3控制柜桌 


      4.5. 氣動(dòng)系統(tǒng)


      1氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等

      2電磁閥驅(qū)動(dòng)

      3氣動(dòng)儀表 


      4.6. 其他附件


      1真空泵一臺

      2空壓機(jī)一臺

      3管道


      4.7. 技術(shù)資料

      1使用維修說明書

      2顯微鏡使用說明書


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