1．技術(shù)參數(shù)

1）曝光面積：4英寸

2）曝光波長：365nm

3） 分辨力：1.5um（膠厚2 um的正膠）

4）對準精度：±1um

5） 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

7）樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm 

                    厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)

8）曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

9）照明不均勻性： 5%（f100mm 范圍）

10）雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍

物鏡三對：4倍、10倍、20倍

目鏡三對：10倍、16倍、20倍

11）掩模相對于樣片運動行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

12）汞燈功率：200W（直流）

13）曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（長）′600mm(寬) ′900mm（高）

3．配置

3.1. 曝光頭

1）200W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

2） XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

3）光學(xué)系統(tǒng)

4）冷卻風(fēng)扇

3.2. 對準工件臺

1）掩模樣片整體運動臺

2）掩模樣片相對運動臺

3）轉(zhuǎn)動臺

4）樣片調(diào)平機構(gòu),手動

5）樣片調(diào)焦機構(gòu)，手動

6）承片臺3個（f50mm 、?75mm 、 ?100mm  ）

7）掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

8）掩模抽拉式上下機構(gòu)

3.3. 對準顯微鏡

9）光源（配備品2只）、電源

10）雙目雙視場對準顯微鏡主體

11）目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

12）物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

13）CCD（中國臺灣）

14）21寸液晶顯示器

3.4. 電控系統(tǒng)

1）汞燈觸發(fā)電源(200W直流汞燈)

2）單片機控制系統(tǒng)

3）控制機箱 

3.5. 氣動系統(tǒng)

1）氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

2）電磁閥驅(qū)動

3）氣動儀表 

3.6. 其他附件

1）真空泵一臺

2）管道

3.7. 技術(shù)資料

1）使用維修說明書

2）顯微鏡使用說明書