1．技術(shù)參數(shù)

l 曝光面積：150mmX150mm

l 曝光波長：365nm

l 分辨力：0.8-1um（膠厚2 um的正膠）

l 對準(zhǔn)精度：±0. 6um

l 掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：15mm;Y:15mm

l 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f150mm（各種不規(guī)則片）

               厚度0.1mm--5mm(可拓展至15mm)

l 曝光方式：定時（倒計時方式），0.1s-9999s

l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

l 照明不均勻性： 2.5%（f100mm 范圍） 5%（f150mm范圍）

l 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍

物鏡三對：4倍、10倍、20倍

目鏡三對：10倍、16倍、20倍

l 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

l 數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

l 掩模相對于樣片運(yùn)動行程：

     X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l 膠厚：500mm(SU8膠)

l 光源平行性：2°

l 曝光能量密度：>18mW/cm2

l 冷卻方式：循環(huán)水+風(fēng)冷

l 曝光面溫度：<30°C

l 汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口

2．外形尺寸：1400mm（長）′1200mm(寬) ′1950mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

l 冷光橢球鏡

l 1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)

l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

l 冷卻風(fēng)扇

l 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（109個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

l 循環(huán)水冷系統(tǒng)

（2）對準(zhǔn)工件臺

l 掩模樣片整體運(yùn)動臺

l 掩模樣片相對運(yùn)動臺

l 轉(zhuǎn)動臺

l 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成

l 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動調(diào)

l 承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）

l 掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）

l 基片抽拉式上下片機(jī)構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡

l 光源（配備品2只）、電源

l 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

l 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

l 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

（4）CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)(選配)

l 光源（配備品3只）、電源

l 成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）

l 數(shù)據(jù)采集卡                                     

l 三維工件臺（兩套）

l CCD（2只）

（5）電控系統(tǒng)

l 汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

l 單片機(jī)控制系統(tǒng)

l 控制柜桌 

l 計算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器

（6）氣動系統(tǒng)

l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

l 電磁閥驅(qū)動

l 氣動儀表 

（7）其他附件

l 真空泵一臺（無油泵）

l 空壓機(jī)一臺（泵）

l 管道

（8）技術(shù)資料

l 使用維修說明書

l 顯微鏡使用說明書