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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      URE-2000/35AL光刻機

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地蘇州市
      • 廠商性質其他
      • 更新時間2023/8/5 9:30:29
      • 訪問次數(shù)214
      產(chǎn)品標簽:

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      蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司設立在環(huán)境優(yōu)美的蘇州新加坡工業(yè)園區(qū)內(nèi)。公司主要從事芯片微結構加工,微流控芯片研發(fā)、制作與銷售服務;提供芯片實驗室組建整體解決方案(涉及不同材質、不同精度微流控芯片實驗室組建儀器設備和耗材的配置);微流體控制解決方案;中芯啟恒以技術服務為主體,解決客戶微流控問題的科技服務類公司。公司主要以在中國的企業(yè)研發(fā)部門、高等院校、中科院單位等以研發(fā)為主的機構作為主要客戶群,希望通過我們專業(yè)的服務和不懈的努力將公司打造成為科學儀器行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品服務供貨商。我們堅信只要以市場為導向,以質量求生產(chǎn),以服務為動力,以發(fā)展求壯大,我們就會贏得更美好的一天!
      產(chǎn)品介紹:主要技術參數(shù):(1)曝光面積:150mm×150mm; (2)照明不均勻性: £4%( f150mm范圍);(3)分辨力:1.0um(365nm波長)(4)對準精度:≤±0.8um...
      URE-2000/35AL光刻機 產(chǎn)品信息

      主要技術參數(shù):

      1)曝光面積:150mm×150mm;

      2)照明不均勻性: 4%( f150mm范圍);

      3)分辨力:1.0um(365nm波長)

      4)對準精度:≤±0.8μm;

      5)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、7英寸;

      6)樣片尺寸:直徑f15mm-- f150mm、厚度0.1mm--6mm;

      7)掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:±6°;

      8)掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm

      9)曝光光源:紫外LED(進口);

      10)曝光波長:365nm;

      11)曝光強度:≥15mW/cm2

      12)曝光定時:倒計時方式(0.1s—9999.9s任意設定).

      技術構成與配置

      設備由曝光頭系統(tǒng)、對準工件臺系統(tǒng)、CCD對準顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)等部分構成。

      1)曝光頭系統(tǒng)包括:

      ◆ 進口紫外LED光源模塊;

      ◆ LED光源整形模塊;

      ◆ XYZ光源位置調節(jié)臺;

      ◆ 光學系統(tǒng)(含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、場鏡組、反射鏡組);

      ◆ 冷卻風扇。

      2)對準工件臺系統(tǒng)包括:

      ◆ 掩模樣片相對運動臺(XY);

      ◆ 轉動臺;

      ◆ 樣片調平機構,采用三爪加球氣浮自動調平方式;

      ◆ 樣片調焦機構,采用電機加傳感器方式,可數(shù)字分離曝光間隙;

      ◆ 承片臺4個(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸各1個);

      ◆ 掩模夾4個(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸各1個)。

      3)CCD對準顯微鏡系統(tǒng)包括:

      ◆ 對準光源LED燈;

      ◆ 雙目雙視場對準顯微鏡主體;

      ◆ 目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個);

      ◆ 物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個);

      ◆ CCD部件;

      ◆ 22英寸寬屏液晶顯示器。

      4)電控系統(tǒng)包括:

      ◆ 單片機控制系統(tǒng);

      ◆ 紫外LED電源模塊;

      ◆ 控制柜桌。

      5)氣動系統(tǒng)包括:

      ◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關、電磁閥驅動、氣動儀表等 。

      (6).輔助設備配置:

      真空泵1臺(干泵);

       空氣壓縮機1臺;

      配套接管10m;

      (7).備品備件

      ◆ 對準光源燈4只(LED-1W,不包括機器自帶的兩只)


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