主要技術參數(shù):
(1)曝光面積:150mm×150mm;
(2)照明不均勻性: £4%( f150mm范圍);
(3)分辨力:1.0um(365nm波長)
(4)對準精度:≤±0.8μm;
(5)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、7英寸;
(6)樣片尺寸:直徑f15mm-- f150mm、厚度0.1mm--6mm;
(7)掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; q:±6°;
(8)掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm
(9)曝光光源:紫外LED(進口);
(10)曝光波長:365nm;
(11)曝光強度:≥15mW/cm2;
(12)曝光定時:倒計時方式(0.1s—9999.9s任意設定).
技術構成與配置
設備由曝光頭系統(tǒng)、對準工件臺系統(tǒng)、CCD對準顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)等部分構成。
(1)曝光頭系統(tǒng)包括:
◆ 進口紫外LED光源模塊;
◆ LED光源整形模塊;
◆ XYZ光源位置調節(jié)臺;
◆ 光學系統(tǒng)(含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、場鏡組、反射鏡組);
◆ 冷卻風扇。
(2)對準工件臺系統(tǒng)包括:
◆ 掩模樣片相對運動臺(XY);
◆ 轉動臺;
◆ 樣片調平機構,采用三爪加球氣浮自動調平方式;
◆ 樣片調焦機構,采用電機加傳感器方式,可數(shù)字分離曝光間隙;
◆ 承片臺4個(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸各1個);
◆ 掩模夾4個(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸各1個)。
(3)CCD對準顯微鏡系統(tǒng)包括:
◆ 對準光源LED燈;
◆ 雙目雙視場對準顯微鏡主體;
◆ 目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個);
◆ 物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個);
◆ CCD部件;
◆ 22英寸寬屏液晶顯示器。
(4)電控系統(tǒng)包括:
◆ 單片機控制系統(tǒng);
◆ 紫外LED電源模塊;
◆ 控制柜桌。
(5)氣動系統(tǒng)包括:
◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關、電磁閥驅動、氣動儀表等 。
(6).輔助設備配置:
◆ 真空泵1臺(干泵);
◆ 空氣壓縮機1臺;
◆ 配套接管10m;
(7).備品備件
◆ 對準光源燈4只(LED-1W,不包括機器自帶的兩只)