1.技術(shù)特征——非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動化程度高)和高校教學科研 (可靠性好,演示方便)
采用自動找平,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能,自動分離對準間隙和消除 曝光間隙,采用 350W 進口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制,性能非??煽?,自動化程 度很高,操作十分方便。
2.技術(shù)參數(shù)
l 曝光面積:4英寸
l 曝光波長:365nm
l 分辨力:0.8um
l 對準精度:±0. 8um
l 掩模樣片整體運動范圍:X:15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸:直徑f10mm-- f100mm(各種不規(guī)則片)
厚度0.1mm--5mm(可擴展為15mm)
l 曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量
l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能
l 照明不均勻性: 3%(f100mm 范圍)
l 雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數(shù)400倍,光學+電子放大800倍
物鏡三對:4倍、10倍、20倍
目鏡三對:10倍、16倍、20倍
l 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復
l 數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
l 具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口
l 掩模相對于樣片運動行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o
l 焦厚:400mm(SU8膠,用戶提供檢測條件)
l 光源平行性:3.5 o
l 曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 o
l 單層曝光一鍵完成
l 采用球氣浮自動找平
l 汞燈功率:350W(直流,進口汞燈)
3.外形尺寸:1200mm(長)′900mm(寬) ′1750mm(高)
4.配置
(1)曝光頭
l 冷光橢球鏡
l 350W進口直流高壓汞燈(進口)
l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
l 冷卻風扇
l 光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2
(2)對準工件臺
l 掩模樣片整體運動臺
l 掩模樣片相對運動臺
l 轉(zhuǎn)動臺
l 樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
l 基片抽拉式上下機構(gòu)
l 樣片調(diào)焦機構(gòu),電機自動調(diào)
l 承片臺4個:f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸(可按用戶要求增減)
l 掩模夾4個:3英寸、4英寸、5英寸(可按用戶要求增減)
(3)對準顯微鏡
l 光源(配備品2只)、 電源
l 雙目雙視場對準顯微鏡主體
l 目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)
l 物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)
l CCD對準系統(tǒng),21寸液晶顯示器
(4)電控系統(tǒng)
l 汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
l 單片機控制系統(tǒng)
l 控制柜桌
(5)氣動系統(tǒng)
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
l 電磁閥驅(qū)動
l 氣動儀表
(6)其他附件
l 真空泵一臺
l 空壓機一臺
l 管道
(7)技術(shù)資料
l 使用維修說明書
l 顯微鏡使用說明書