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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      URE-2000/35光刻機

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地蘇州市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2023/8/9 14:20:28
      • 訪問次數(shù)263
      產(chǎn)品標簽:

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      聯(lián)系我們時請說明是 智能制造網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!

      蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司設(shè)立在環(huán)境優(yōu)美的蘇州新加坡工業(yè)園區(qū)內(nèi)。公司主要從事芯片微結(jié)構(gòu)加工,微流控芯片研發(fā)、制作與銷售服務(wù);提供芯片實驗室組建整體解決方案(涉及不同材質(zhì)、不同精度微流控芯片實驗室組建儀器設(shè)備和耗材的配置);微流體控制解決方案;中芯啟恒以技術(shù)服務(wù)為主體,解決客戶微流控問題的科技服務(wù)類公司。公司主要以在中國的企業(yè)研發(fā)部門、高等院校、中科院單位等以研發(fā)為主的機構(gòu)作為主要客戶群,希望通過我們專業(yè)的服務(wù)和不懈的努力將公司打造成為科學儀器行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品服務(wù)供貨商。我們堅信只要以市場為導向,以質(zhì)量求生產(chǎn),以服務(wù)為動力,以發(fā)展求壯大,我們就會贏得更美好的一天!
      1. 曝光面積:4英寸;2.曝光波長:365nm;3. 分辨力:0.8um;4.對準精度:±0. 8um...
      URE-2000/35光刻機 產(chǎn)品信息

      1.技術(shù)特征——非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動化程度高)和高校教學科研 (可靠性好,演示方便)

             采用自動找平,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能,自動分離對準間隙和消除 曝光間隙,采用 350W 進口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制,性能非??煽?,自動化程 度很高,操作十分方便。

      2.技術(shù)參數(shù)

      l  曝光面積:4英寸

      l  曝光波長:365nm

      l  分辨力:0.8um

      l  對準精度:±0. 8um

      l  掩模樣片整體運動范圍:X15mm;Y:15mm

      l  掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

      l  樣片尺寸:直徑f10mm-- f100mm(各種不規(guī)則片)

        厚度0.1mm--5mm(可擴展為15mm)

      l  曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量

      l  具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能

      l  照明不均勻性: 3%f100mm 范圍)

      l  雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數(shù)400倍,光學+電子放大800

      物鏡三對:4倍、10倍、20

      目鏡三對:10倍、16倍、20

      l  調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復

      l  數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙

      l  具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口

      l  掩模相對于樣片運動行程:

       X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6o

      l  焦厚:400mmSU8膠,用戶提供檢測條件)

      l  光源平行性:3.5 o

      l  曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 o

      l  單層曝光一鍵完成

      l  采用球氣浮自動找平

      l  汞燈功率:350W(直流,進口汞燈)

      3.外形尺寸:1200mm(長)900mm(1750mm(高)

      4.配置

      1)曝光頭

      l  冷光橢球鏡

      l  350W進口直流高壓汞燈(進口)

      l  XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

      l  冷卻風扇

      l  光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2

      2)對準工件臺

      l  掩模樣片整體運動臺

      l  掩模樣片相對運動臺

      l  轉(zhuǎn)動臺

      l  樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

      l  基片抽拉式上下機構(gòu)

      l  樣片調(diào)焦機構(gòu),電機自動調(diào)

      l  承片臺4個:f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸(可按用戶要求增減)

      l  掩模夾4個:3英寸、4英寸、5英寸(可按用戶要求增減)

      3)對準顯微鏡

      l  光源(配備品2只)、 電源

      l  雙目雙視場對準顯微鏡主體

      l  目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)

      l  物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)

      l  CCD對準系統(tǒng),21寸液晶顯示器

      4)電控系統(tǒng)

      l  汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

      l  單片機控制系統(tǒng)

      l  控制柜桌

      5)氣動系統(tǒng)

      l  氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

      l  電磁閥驅(qū)動

      l  氣動儀表

      6)其他附件

      l  真空泵一臺

      l  空壓機一臺

      l  管道

      7)技術(shù)資料

      l  使用維修說明書

      l  顯微鏡使用說明書


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