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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      URE-2000B光刻機

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地蘇州市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2023/8/6 15:24:01
      • 訪問次數(shù)201
      產(chǎn)品標(biāo)簽:

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      蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司設(shè)立在環(huán)境優(yōu)美的蘇州新加坡工業(yè)園區(qū)內(nèi)。公司主要從事芯片微結(jié)構(gòu)加工,微流控芯片研發(fā)、制作與銷售服務(wù);提供芯片實驗室組建整體解決方案(涉及不同材質(zhì)、不同精度微流控芯片實驗室組建儀器設(shè)備和耗材的配置);微流體控制解決方案;中芯啟恒以技術(shù)服務(wù)為主體,解決客戶微流控問題的科技服務(wù)類公司。公司主要以在中國的企業(yè)研發(fā)部門、高等院校、中科院單位等以研發(fā)為主的機構(gòu)作為主要客戶群,希望通過我們專業(yè)的服務(wù)和不懈的努力將公司打造成為科學(xué)儀器行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品服務(wù)供貨商。我們堅信只要以市場為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生產(chǎn),以服務(wù)為動力,以發(fā)展求壯大,我們就會贏得更美好的一天!
      產(chǎn)品介紹: 1.曝光面積:100mmX100mm 2.曝光波長:365nm 3.分辨力:0.8um(膠厚2mm的正膠)4.對準(zhǔn)精度:±0.6um...
      URE-2000B光刻機 產(chǎn)品信息

      1.技術(shù)參數(shù)


      曝光面積:100mmX100mm

      曝光波長:365nm

      分辨力:0.8um(膠厚2um的正膠)

      對準(zhǔn)精度:±0.6um

      掩模樣片整體運動范圍:X15mm;Y:15mm

      掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

      樣片尺寸:直徑f15mm-- f100mm(各種不規(guī)則片)

      厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)

      曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量

      具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能

      照明不均勻性: 2.5%f100mm 范圍)

      雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)倍數(shù)400倍,光學(xué)+電子放大800倍

      物鏡3對:4倍、10倍、20倍;     目鏡3對:10倍、16倍、20倍

      調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

      數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

      具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口

      掩模相對于樣片運動行程:   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6

      焦厚:600mmSU8膠,用戶提供檢測條件)

      光源平行度:2o

      曝光能量密度:>20mW/cm

      汞燈功率:1000W(直流,進(jìn)口

      2.外形尺寸:1400mm(長)1200mm(寬) 1950mm(高)

      3.配置


      1)曝光頭


      冷光橢球鏡

      XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

      冷卻風(fēng)扇

      1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

      光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(109個透鏡)、i線濾光片、場鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2


      2)對準(zhǔn)工件臺


      掩模樣片整體運動臺

      掩模樣片相對運動臺

      轉(zhuǎn)動臺

      樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

      樣片自動調(diào)焦機構(gòu)

      承片臺4個(f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸)

      掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

      基片抽拉式上下機構(gòu)


      3)對準(zhǔn)顯微鏡及CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)


      光源、電源

      雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

      目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)

      物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)

      CCD

      21英寸液晶顯示器

      4)電控系統(tǒng)


      汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

      單片機控制系統(tǒng)

      控制柜桌 

      5)氣動系統(tǒng)

      氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

      電磁閥驅(qū)動

      氣動儀

      6)其他附件

      真空泵一臺(無油泵)

      空壓機一臺(泵)

      管道

      7)技術(shù)資料

      使用維修說明書。

      顯微鏡使用說明書

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