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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊

      URE-2000/25光刻機

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地蘇州市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2023/8/3 10:56:41
      • 訪問次數(shù)215
      產(chǎn)品標簽:

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      蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司設立在環(huán)境優(yōu)美的蘇州新加坡工業(yè)園區(qū)內(nèi)。公司主要從事芯片微結構加工,微流控芯片研發(fā)、制作與銷售服務;提供芯片實驗室組建整體解決方案(涉及不同材質(zhì)、不同精度微流控芯片實驗室組建儀器設備和耗材的配置);微流體控制解決方案;中芯啟恒以技術服務為主體,解決客戶微流控問題的科技服務類公司。公司主要以在中國的企業(yè)研發(fā)部門、高等院校、中科院單位等以研發(fā)為主的機構作為主要客戶群,希望通過我們專業(yè)的服務和不懈的努力將公司打造成為科學儀器行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品服務供貨商。我們堅信只要以市場為導向,以質(zhì)量求生產(chǎn),以服務為動力,以發(fā)展求壯大,我們就會贏得更美好的一天!
      產(chǎn)品介紹:1. 曝光面積:4英寸;2. 曝光波長:365nm;3. 分辨力:1.2um(膠厚2 um的正膠);4. 對準精度:±0.8um ...
      URE-2000/25光刻機 產(chǎn)品信息

      1.技術參數(shù)

      1光面積:4英寸

      2曝光波長:365nm

      3分辨力:1.2um(膠厚um的正膠)

      4對準精度:±0.8um

      5掩模樣片整體運動范圍:X15mm;Y:15mm

      6掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

      7樣片尺寸:直徑f15mm-- f100mm(各種不規(guī)則片厚度0.1mm--6mm

      8曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量

      9照明不均勻性: 3% f100mm  范圍)

      10雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數(shù)400倍,光學+電子放大800

      物鏡三對:4倍、10倍、20

      目鏡三對:4倍、10倍、20

      11掩模相對于樣片運動行程:

         X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6o

      12焦厚:350mmSU8膠,用戶提供檢測條件)     

      13光源平行性:3.5 o

      14曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 o

      15汞燈功率:350W(直流,進口

      2.外形尺寸1200mm(長)900mm(1750mm(高)

      3.配置

      3.1. 曝光頭

      1冷光橢球鏡

      2350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

      3XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

      4冷卻風扇

      5光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

      3.2. 對準工件臺

      1掩模樣片整體運動臺

      2掩模樣片相對運動臺

      3轉(zhuǎn)動臺

      4樣片調(diào)平機構, 手動

      5樣片調(diào)焦機構,手動

      6承片臺3個(?50mm ?75mm 、 ?100mm

      7掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)

      8基片抽拉式上下機構

      3.3. 對準顯微鏡

      1光源(配備品2只)、   電源

      2雙目雙視場對準顯微鏡主體

      3目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)

      4CCD21英寸液晶顯示器

      5物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)

      3.4. 電控系統(tǒng)

      1汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

      2單片機控制系統(tǒng)

      3控制箱

      3.5. 氣動系統(tǒng)

      1氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

      2電磁閥驅(qū)動

      3氣動儀表 

      3.6. 其他附件

      1真空泵一臺

      2空壓機一臺

      3管道

      3.7. 技術資料

      1使用維修說明書

      2顯微鏡使用說明書

       


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