1.技術參數(shù)
1)光面積:4英寸
2)曝光波長:365nm
3)分辨力:1.2um(膠厚2 um的正膠)
4)對準精度:±0.8um
5)掩模樣片整體運動范圍:X:15mm;Y:15mm
6)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
7)樣片尺寸:直徑f15mm-- f100mm(各種不規(guī)則片) 厚度0.1mm--6mm
8)曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量
9)照明不均勻性: 3%( f100mm 范圍)
10)雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數(shù)400倍,光學+電子放大800倍
物鏡三對:4倍、10倍、20倍
目鏡三對:4倍、10倍、20倍
11)掩模相對于樣片運動行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o
12)焦厚:350mm(SU8膠,用戶提供檢測條件)
13)光源平行性:3.5 o
14)曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 o
15)汞燈功率:350W(直流,進口)
2.外形尺寸:1200mm(長)′900mm(寬) ′1750mm(高)
3.配置
3.1. 曝光頭
1)冷光橢球鏡
2)350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
3)XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
4)冷卻風扇
5)光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
3.2. 對準工件臺
1)掩模樣片整體運動臺
2)掩模樣片相對運動臺
3)轉(zhuǎn)動臺
4)樣片調(diào)平機構, 手動
5)樣片調(diào)焦機構,手動
6)承片臺3個(?50mm 、?75mm 、 ?100mm)
7)掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
8)基片抽拉式上下機構
3.3. 對準顯微鏡
1)光源(配備品2只)、 電源
2)雙目雙視場對準顯微鏡主體
3)目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)
4)CCD及21英寸液晶顯示器
5)物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)
3.4. 電控系統(tǒng)
1)汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
2)單片機控制系統(tǒng)
3)控制箱
3.5. 氣動系統(tǒng)
1)氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
2)電磁閥驅(qū)動
3)氣動儀表
3.6. 其他附件
1)真空泵一臺
2)空壓機一臺
3)管道
3.7. 技術資料
1)使用維修說明書
2)顯微鏡使用說明書