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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      三河建華高科有限責(zé)任公司


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      BG-401A曝光機(jī)

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      參  考  價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2023-07-14 08:39:37瀏覽次數(shù):470次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:8條

      所在地區(qū):

      產(chǎn)品簡介

      主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光

      詳細(xì)介紹

      主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高、重復(fù)性好,并具有較高的性能價(jià)格比,可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。

      主要技術(shù)特點(diǎn)

      對準(zhǔn)工作臺(tái)

      對準(zhǔn)精度搞,漂移小,精密楔形誤差補(bǔ)償機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)找平,找平力小,延長掩摸版使用壽命。

      曝光系統(tǒng)

      采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學(xué)件,具有較高的光強(qiáng)、均勻性、光學(xué)分辨率。

      分離視場顯微鏡

      在X、Y方面進(jìn)行大范圍掃描觀察,可進(jìn)行單視場或雙視場切換,提高對準(zhǔn)效率和套準(zhǔn)精度,同時(shí)兼容CCD成像顯示功能。

      控制系統(tǒng)

      電氣控制采用可編程序控制器(PLC)、LCD顯示器,操作方便,汞燈電源易于觸發(fā),可靠性高。該設(shè)備的關(guān)鍵件采用進(jìn)口或?qū)I(yè)廠家制造,氣動(dòng)元件采用SMC產(chǎn)品,提高了設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性,同時(shí)提供個(gè)性化服務(wù)

      主要技術(shù)指標(biāo)

       

      性能名稱

      技術(shù)指標(biāo)

      適用基片尺寸

      Max. φ4″(φ100mm)

      適用掩模版尺寸

      Max. 5″(125mm×125mm)

      工作臺(tái)行程

      X向

      ±5mm

      Y向

      ±5mm

      Z向

      3mm

      θ向

      ±12°

      基片與掩模版分離間隙

      0~0.05mm

      對準(zhǔn)精度

      ±1μm

      分離視場顯微鏡

      目鏡

      10×

      物鏡

      10×

      物鏡分離距離

      28~90mm

      掃描范圍

      50mm×50mm

      調(diào)焦范圍

      8mm

      曝光光源

      250W進(jìn)口超高壓汞燈

      光強(qiáng)

      15mW/cm2

      曝光面積

      φ108mm

      曝光分辨率

      1.5μm(真空接觸)

      曝光不均勻性

      ±3%

      曝光時(shí)間

      0~999s

      整機(jī)功率

      1000W

      外型尺寸(長×寬×高)

      740mm×830mm×1300mm

       

      關(guān)鍵詞:
      曝光
      視場
      采用
      分離
      主要
      對準(zhǔn)
      尺寸
      設(shè)備
      光強(qiáng)

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