国产强伦姧在线观看无码,中文字幕99久久亚洲精品,国产精品乱码在线观看,色桃花亚洲天堂视频久久,日韩精品无码观看视频免费

      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      三河建華高科有限責任公司


      當前位置:三河建華高科有限責任公司>>黃光區(qū)設備>>BG-406系列曝光機

      BG-406系列曝光機

      返回列表頁
      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

      更新時間:2023-07-13 07:12:11瀏覽次數(shù):228次

      聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)

      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:8條

      所在地區(qū):

      產(chǎn)品簡介

      BG-406系列曝光機主要用于中小規(guī)模集成電路、二極管、三極管、GPP器件、LED、電力電子器件、MEMS和其它半導體器件制造工藝中的對準和曝光

      詳細介紹

      BG-406系列曝光機主要用于中小規(guī)模集成電路、二極管、三極管、GPP器件、LED、電力電子器件、MEMS和其它半導體器件制造工藝中的對準和曝光。該系列曝光機包括4″、6″單/雙面曝光機,可實現(xiàn)單/雙面對準、單面曝光。

      主要技術特點

      對準工作臺

      對準精度搞,漂移小,精密楔形誤差補償機構實現(xiàn)三點找平,找平力小,延長掩摸版使用壽命。

      曝光系統(tǒng)

      采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學件,具有較高的光強、均勻性、光學分辨率。

      顯微鏡

      顯微鏡像質(zhì)清晰,觀察舒適。

      顯微鏡掃描系統(tǒng)

      采用電機驅(qū)動,帶動顯微鏡系統(tǒng)相對工作臺的二維運動,完成顯微鏡觀察和掃描。

      控制系統(tǒng)

      采用工業(yè)計算機總線系統(tǒng),人機交互界面簡潔直觀,操作方便,同時提供個性化服務。

      主要技術指標

       

      性能名稱

      技術指標

      工作臺行程

      X向

      ±5mm

      Y向

      ±5mm

      Z向

      8mm

      θ向

      ±5°

      適用基片尺寸

      Max 6″(φ150 mm)

      適用掩模版尺寸

      Max 7″(175×175 mm)

      頂部顯微鏡

      放大倍率

      CCD連續(xù)變倍40×~300×

      掃描范圍

      50mm×50mm

      調(diào)焦范圍

      8mm

      物鏡分離距離

      28~90mm(4″晶圓)

      75~150mm(6″晶圓)

      對準精度

      ±0.5μm

      底部顯微鏡

      放大倍率

      330×

      物鏡掃描范圍X

      50~140mm

      物鏡掃描范圍Y

      ±12mm

      對準精度

      ±2μm

      曝光光源

      UV365,500W超高壓汞燈

      曝光面積

      φ108mm

      φ160mm

      曝光分辨率

      1.5μm(膠厚≤1μm正膠、真空接觸)

      光強

      20mW/cm2

      曝光不均勻性

      ±3%(曝光面積φ108mm)

      ±5%(曝光面積φ160mm)

      曝光時間

      0~999s

      整機功率

      2KW

      外形尺寸

      1300mm×1100mm×1650mm

      重量

      350Kg

       

      關鍵詞:
      曝光
      顯微鏡
      掃描
      范圍
      系統(tǒng)
      物鏡
      對準精度
      采用
      工作臺

      其他推薦產(chǎn)品更多>>

      感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

      智能制造網(wǎng) 設計制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://towegas.com,All rights reserved.

      以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關企業(yè)負責,智能制造網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。 溫馨提示:為規(guī)避購買風險,建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

      會員登錄

      ×

      請輸入賬號

      請輸入密碼

      =

      請輸驗證碼

      收藏該商鋪

      登錄 后再收藏

      提示

      您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~