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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司


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      日本DNK科研曝光機(jī)MX-1205光刻機(jī)

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      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:黃羅龍查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2023-07-17 20:50:38瀏覽次數(shù):362次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      簡(jiǎn)單介紹: 產(chǎn)品信息實(shí)驗(yàn)?研究用曝光裝置簡(jiǎn)練設(shè)計(jì)的手動(dòng)式整面單次曝光裝置。主要特長(zhǎng)對(duì)應(yīng)玻璃、Wafer、膠片等基材的實(shí)驗(yàn)研究用手動(dòng)整面單次曝光機(jī)。也適合小批量生產(chǎn)。可選擇接觸曝光(軟接觸、硬接觸)和近接曝光。對(duì)應(yīng)*大尺寸為500mm×500mm的基板。根據(jù)用途和基板尺寸,配置有*佳組合的光學(xué)系統(tǒng)。其中包括:超高壓水銀燈(500W?1kW?2kW?3.5kW)、各種光學(xué)鏡、特殊鏡頭、聚光鏡等

      詳細(xì)介紹

      詳情介紹:

      光刻機(jī)介紹

      曝光裝置  MA-1200 基板追大尺寸 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″ 

      光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW

      曝光裝置 MA-1400  基板追大尺寸400 x 400mm

      光源 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW

      LED,LN曝光裝置MA-4000 圓晶尺寸?2~4″或者?4~6″

      光源 超高壓汞燈:500W 或 1kW

      ?200mm/?150 mm 對(duì)應(yīng)曝光裝置MA-4301M   材料SI 玻璃, 對(duì)齊精度自動(dòng)對(duì)齊:+/- 1 μm(
      峰值搜索)

      ?300mm對(duì)應(yīng)曝光裝置MA-5301ML  光源超高壓汞燈:3.5kW  ?200mm規(guī)格也可對(duì)應(yīng)

      マスクレス露光裝置MX-1201 曝光掃描速度43.94mm/s  有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)245/70/245+70
      マスクレス露光裝置MX-1201E  曝光掃描速度22.5mm/s  有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)460/70135

      マスクレス露光裝置MX-1205  曝光掃描速度9/4.5mm/s  有效曝光區(qū)域100 x 100 追大曝光量(※3)100/50

      主要規(guī)格

      MA-1200、MA-1400

        MA-1200 MA-1400
      基板尺寸 追大 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″ 追大 400 x 400mm
      光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW
      外觀尺寸及重量 本體尺寸 W1240 x D1100 x H1725 mm W1440 x D1590 x H1882 mm
      本體重量 400kg 400kg(包含無(wú)塵機(jī)房)
      光源重量 250kg
      選購(gòu)項(xiàng) 無(wú)塵機(jī)房、背面對(duì)位、硬接觸(真空密著式)、自動(dòng)對(duì)位、對(duì)應(yīng)破碎基板等特殊尺寸(需商洽)。

      ※基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽




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