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      三河建華高科有限責任公司


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      BG-401B曝光機(LED)

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準

      產品型號

      品       牌

      廠商性質其他

      所  在  地

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      更新時間:2023-07-10 09:40:59瀏覽次數(shù):337次

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      經營模式:其他

      商鋪產品:8條

      所在地區(qū):

      產品簡介

      主要用于中小規(guī)模集成電路和半導體元器件制造工藝中的對準及曝光

      詳細介紹

      主要用于中小規(guī)模集成電路和半導體元器件制造工藝中的對準及曝光。本產品采用LED光源,操作方便、穩(wěn)定性高、重復性好,并具有較高的性能價格比,可廣泛應用于科研和生產。

      主要技術特點

      對準工作臺

      對準精度搞,漂移小,精密楔形誤差補償機構實現(xiàn)三點找平,找平力小,延長掩摸版使用壽命

      曝光系統(tǒng)

      紫外光曝光系統(tǒng)采用了柱體蠅眼透鏡和多點UVLED燈,光能利用率高,光強分布均勻。

      分離視場顯微鏡

      在X、Y方面進行大范圍掃描觀察,可進行單視場或雙視場切換,提高對準效率和套準精度,同時兼容CCD成像顯示功能。

      控制系統(tǒng)

      電氣控制采用可編程序控制器(PLC)、LCD顯示器,操作方便,汞燈電源易于觸發(fā),可靠性高。該設備的關鍵件采用進口或專業(yè)廠家制造,氣動元件采用SMC產品,提高了設備的穩(wěn)定性、可靠性,同時提供個性化服務。

      主要技術指標

       

      性能名稱

      技術指標

      適用基片尺寸

      Max. φ4″(φ100mm)

      適用掩模版尺寸

      Max. 5″(125mm×125mm)

      工作臺行程

      X向

      ±5mm

      Y向

      ±5mm

      Z向

      3mm

      θ向

      ±12°

      基片與掩模版分離間隙

      0~0.05mm

      對準精度

      ±1μm

      分離視場顯微鏡

      目鏡

      10×

      物鏡

      10×

      物鏡分離距離

      28~90mm

      掃描范圍

      50mm×50mm

      調焦范圍

      8mm

      曝光光源

      250W進口超高壓汞燈

      光強

      15mW/cm2

      曝光面積

      φ108mm

      曝光分辨率

      1.5μm(真空接觸)

      曝光不均勻性

      ±3%

      曝光時間

      0~999s

      整機功率

      1000W

      外型尺寸(長×寬×高)

      740mm×830mm×1300mm

       

      關鍵詞:
      曝光
      視場
      采用
      分離
      主要
      對準
      尺寸
      設備
      光強

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