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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司


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      日本DNK科研曝光機(jī)MX-1201E光刻機(jī)

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      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:黃羅龍查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2023-07-20 18:07:01瀏覽次數(shù):213次

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      產(chǎn)品簡介

      簡單介紹: 主要特長能夠用于研究開發(fā)、試作、小批量生產(chǎn)等的直描曝光。能夠?qū)?yīng)半導(dǎo)體、電子零件、優(yōu)異PCB、高密度封裝件、MEMS、FPD等的曝光。由于在光刻工藝中不需要掩膜,因而可以*大限度地降低開發(fā)成本和縮短市場(chǎng)供應(yīng)時(shí)間。此外,還可以根據(jù)客戶需求,提供相應(yīng)的裝置構(gòu)造。

      詳細(xì)介紹

      詳情介紹:

      光刻機(jī)介紹

      曝光裝置  MA-1200 基板追大尺寸 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″ 

      光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW

      曝光裝置 MA-1400  基板追大尺寸400 x 400mm

      光源 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW

      LED,LN曝光裝置MA-4000 圓晶尺寸?2~4″或者?4~6″

      光源 超高壓汞燈:500W 或 1kW

      ?200mm/?150 mm 對(duì)應(yīng)曝光裝置MA-4301M   材料SI 玻璃, 對(duì)齊精度自動(dòng)對(duì)齊:+/- 1 μm(
      峰值搜索)

      ?300mm對(duì)應(yīng)曝光裝置MA-5301ML  光源超高壓汞燈:3.5kW  ?200mm規(guī)格也可對(duì)應(yīng)

      マスクレス露光裝置MX-1201 曝光掃描速度43.94mm/s  有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)245/70/245+70
      マスクレス露光裝置MX-1201E  曝光掃描速度22.5mm/s  有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)460/70135

      マスクレス露光裝置MX-1205  曝光掃描速度9/4.5mm/s  有效曝光區(qū)域100 x 100 追大曝光量(※3)100/50

      主要規(guī)格

      型式 MX-1201 MX-1201E MX-1205
      *小線幅 (※1) [μm] 5 3 2 1
      數(shù)據(jù)分辨率 [μm] 0.488 0.25 0.1 0.05
      *大基板尺寸 [mm] 200 x 200 200 x 200 100 x 100
      有效曝光范圍 [mm] 200 x 200 200 x 200 100 x 100
      激光主波長 [nm] 405 375 405 + 375 405 375 375
      曝光掃描速度 [mm/s] 43.94 22.5 9 4.5
      節(jié)拍時(shí)間 [s,min] 180 [s] 320 [s] 16 [min] 27 [min]
      *大曝光量 [mJ/c㎡] 245 70 245 + 70 460 135 50 100


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