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【曝光機(jī)專用冷水機(jī)】是我司專為紫外線曝光機(jī)配套設(shè)計(jì)的一款高性能瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)工業(yè)冷水機(jī)組，大多客戶因廠房條件限制一般采用風(fēng)冷散熱形式最多，由于機(jī)型小所需散熱風(fēng)量比較小可直接放在車間使用，當(dāng)然如果客戶不希望【曝光機(jī)專用冷水機(jī)】的散熱風(fēng)影響車間環(huán)境溫度，也可以接足夠大尺寸的風(fēng)管將曝光機(jī)冷水機(jī)散熱風(fēng)以最近的距離排到室外也可。

偶爾有的客戶會需要水冷式結(jié)構(gòu)或風(fēng)冷分體結(jié)構(gòu)（這兩種需要客戶廠房外有地方放冷卻水塔或室外機(jī)組才可），機(jī)型一般也不大，使用1P、2HP、3匹、5P【曝光機(jī)專用冷水機(jī)】居多。
 

按冷卻方式分類

紫外線曝光機(jī)內(nèi)部冷卻系統(tǒng)一般用直冷式和間冷式兩種
直冷式一般因要配置棉芯過濾器需要配置高揚(yáng)程高壓力的水泵和過水部件均需要使用304不銹鋼材質(zhì)以確保水質(zhì)和循環(huán)水流量能達(dá)到要求；
間冷式因曝光機(jī)內(nèi)部已經(jīng)配置用板式交換器循環(huán)水泵與保溫水箱，對曝光機(jī)專用冷水機(jī)的要求就比較低些。

能瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)曝光機(jī)專用冷水機(jī)在半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對準(zhǔn)的冷卻系統(tǒng)中用著廣泛應(yīng)用。


紫外線曝光機(jī)是指通過開啟燈光發(fā)出UVA波長的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的設(shè)備。
UV燈構(gòu)造
帶托盤的晶片工作臺
配CCD鏡頭的顯微鏡
監(jiān)視器
掩膜夾具
UV燈透鏡
UV燈鏡片
UV燈電源系統(tǒng)
操作控制器
350W UV燈
晶片臺
基底尺寸 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 至4英寸；可選至6英寸；
托盤 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 至4英寸；可選至6英寸；
活動范圍：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
擠入補(bǔ)償 Air bearing型
Z軸滑動 手動
真空泵 無油真空泵
掩膜臺
掩膜夾具類型 真空吸附和機(jī)械夾取
均勻光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光，各種接觸式（真空接觸、軟接觸、硬接觸等）曝光
接觸式曝光特征尺寸：
0.35 um@深紫外DUV：
0.5um@近紫外NUV；
0.6um@紫外UV；
接近式曝光特征尺寸：
1um @ Gap為20 um；
2um @ Gap為50 um；

紫外線曝光機(jī)用途
更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強(qiáng)范圍: 8mW/cm2~40mW/cm2
支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。
常見曝光機(jī)舉例：MYCRO美國制造的恩科優(yōu)（N&Q）紫外曝光系統(tǒng)，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統(tǒng)成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對準(zhǔn)的應(yīng)用。

 

一、概述

• 在工業(yè)應(yīng)用行業(yè)中，一般10P以上工業(yè)冷水機(jī)組大部分采用水冷式散熱，10P以下工業(yè)冰水機(jī)組采用風(fēng)冷式散熱，但也有很多客戶會選風(fēng)冷式冰水機(jī)組，因?yàn)樗惭b方便，省工省時(shí)。

二、瀚信德品牌高品質(zhì)風(fēng)冷式曝光機(jī)專用冷水機(jī)組又名

• 風(fēng)冷曝光機(jī)專用冷水機(jī)主機(jī)，曝光機(jī)專用風(fēng)冷工業(yè)冰水機(jī)，曝光冷水機(jī)，曝光機(jī)專用箱型風(fēng)冷制冷機(jī)組，曝光機(jī)專用循環(huán)水冰水機(jī)，曝光專用冷水箱，曝光機(jī)專用水冷卻機(jī)，曝光機(jī)專用冷凍水機(jī)等等。

三、瀚信德品牌高品質(zhì)風(fēng)冷式曝光機(jī)專用冷水機(jī)組的電器自控部分

• A、包括風(fēng)冷式冷水機(jī)組運(yùn)行控制部分和故障自動保護(hù)控制部分。
• B、運(yùn)行控制部分是通過接觸器，對壓縮機(jī)、風(fēng)扇、水泵等供應(yīng)電源。
• C、故障自動保護(hù)控制部分包括溫控器、壓力保護(hù)、防凍保護(hù)，延時(shí)器、繼電器、缺水自動保護(hù)，過流保護(hù)過載保護(hù)等。
• D、互組合達(dá)到根椐水溫自動啟停，保護(hù)等功能。

四、風(fēng)冷式工業(yè)曝光專用冷水機(jī)組的結(jié)構(gòu)組成與特點(diǎn)

1、風(fēng)冷式曝光機(jī)冷水機(jī)組一般為整體機(jī)，及蒸發(fā)器、壓縮機(jī)和冷凝器做在一起。

• A、對于稍大功率的風(fēng)冷式工業(yè)冷水機(jī)，則需要考慮其工作時(shí)冷凝器散熱風(fēng)扇的散熱問題。
• B、在空調(diào)廠房里應(yīng)用，整體機(jī)需要設(shè)置排風(fēng)道將散熱風(fēng)扇吹出的熱量引到室外。

2、風(fēng)冷式工業(yè)曝光專用冷水機(jī)也可以做成分體式，將冷凝器直接放到室外去（稱室外機(jī)），蒸發(fā)器和壓縮機(jī)放在室內(nèi)（稱室內(nèi)機(jī)）。

•  A、但考慮冷媒在冷凝器和蒸發(fā)器間傳送過程中的吸熱等問題，室內(nèi)機(jī)和室外機(jī)間的距離控制在6米以內(nèi)，另外，輸送冷媒的銅管需要做保溫處理。
•  B、風(fēng)扇的供電電纜及 控制電纜可以和銅管一起布線走，這樣空調(diào)廠房只需開洞穿管即可。

 3、對于應(yīng)用小流量及小散熱量風(fēng)冷式冷水機(jī)的工業(yè)應(yīng)用場合，一般選用整體式直接使用，此時(shí)可不用考慮其散熱問題。

•  A、對于大流量和大散熱量的風(fēng)冷式冷水機(jī)，可選用分體式。

 4、風(fēng)冷式冷水機(jī)其冷凝器冷卻效果受外界環(huán)境季節(jié)氣候的變化略有影響，而水冷式冷水機(jī)，采用水塔散熱效果較穩(wěn)定，但其一定需配套水塔散熱才可使用，可移動性差。

五、風(fēng)冷式曝光專用冷水機(jī)的工作原理！詳情請點(diǎn)擊查看參考風(fēng)冷式冷水機(jī)工作原理

六、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機(jī)配置簡介

1. 箱式風(fēng)冷曝光專用冷水機(jī)組一般采用日本松下三洋制冷壓縮機(jī)、可選品牌用美國谷輪，丹麥丹佛斯，美優(yōu)樂，日本大金，渦漩式壓縮機(jī)，風(fēng)冷螺桿式機(jī)組采用漢鐘，復(fù)盛，比澤爾，等品牌。
2. 高效翅片冷凝器，盤管式，殼管式，板式蒸發(fā)器采用自主研發(fā)的品牌。
3. 高精度控制系統(tǒng)，多功能保護(hù)系統(tǒng)采用中國臺灣邦普微電腦控制器。

七、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機(jī)組特點(diǎn)

1. 噪音低、控溫精度高、質(zhì)量穩(wěn)定，可靠性高。
2. 數(shù)字顯示溫度。
3. 水溫及水流量可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。
4. 操作簡單，可24小時(shí)連續(xù)長期運(yùn)轉(zhuǎn)。

八、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機(jī)報(bào)價(jià)

• 價(jià)格：（含稅含運(yùn)費(fèi)），請咨詢我們了解。
• 自收到貨款起5~10個(gè)工作日內(nèi)發(fā)貨。

九、瀚信德曝光專用冷水機(jī)組 售后服務(wù) 

• 本產(chǎn)品自發(fā)貨之日，非人為損壞范圍內(nèi)保修一年。終身有償服務(wù)。
• 瀚信德冷水機(jī)廠家接到客戶維修電話后，24小時(shí)內(nèi)（節(jié)假日除外）給出解決方案。

十、瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)風(fēng)冷式曝光專用冷水機(jī)技術(shù)參數(shù)請點(diǎn)擊查看參考【風(fēng)冷式冷水機(jī)參數(shù)】。
十一、瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)水冷式/開放式/風(fēng)冷式曝光專用冷水機(jī)技術(shù)參數(shù)請聯(lián)系我們索取，我們將謁誠為您服務(wù)。
 

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