1．技術特征
1）非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，全自動）和高校教學科研（可靠性好，演示方便）
2）采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準間隙和消除曝光間隙，采用350W進口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設備外形美觀精制，性能非常可靠，自動化程度很高，操作十分方便。
2．技術參數(shù)
1）曝光面積：6英寸
2）曝光波長：365nm
3）分辨力：1-1.2mm（膠厚2 mm的正膠）
4）對準精度：±0.8mm
5）掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
6）掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
7）樣片尺寸：直徑f15mm-- f150mm（各種不規(guī)則片）
厚度0.1mm--6mm
8）曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
9）具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
10）照明不均勻性： 6%（f150mm 范圍）
11）雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù)400倍，光學+電子放大800倍
物鏡三對：4倍、10倍、20倍
目鏡三對：10倍、16倍、20倍
12）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復
13）數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙
14）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
15）掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o
16）焦厚：350mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
17）光源平行性：3.5 o
18）曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面溫度<35 o
19）單層曝光一鍵完成
20）采用球氣浮自動找平
21）汞燈功率：350W（直流，進口）
3．外形尺寸：1200mm（長）′900mm(寬) ′1750mm（高）
4．配置
4.1. 曝光頭
1）冷光橢球鏡
2）350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
3）XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
4）冷卻風扇
5）光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2
4.2. 對準工件臺
1）掩模樣片整體運動臺
2）掩模樣片相對運動臺
3）轉(zhuǎn)動臺
4）樣片調(diào)平機構,三點自動完成
5）樣片調(diào)焦機構，電機自動調(diào)
6）基片抽拉式上下機構
7）承片臺4個：f15mm 、3英寸、4英寸、6英寸（可按用戶要求增減）
8）掩模夾4個：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸（可按用戶要求增減）
4.3. 對準顯微鏡
1）光源（配備品2只）、 電源
2）雙目雙視場對準顯微鏡主體
3）目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
4）物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
5）CCD對準系統(tǒng)，21寸液晶顯示器
4.4. 電控系統(tǒng)
1）汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
2）單片機控制系統(tǒng)
3）控制柜桌
4.5. 氣動系統(tǒng)
1）氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
2）電磁閥驅(qū)動
3）氣動儀表
4.6. 其他附件
1）真空泵一臺
2）空壓機一臺
3）管道
4.7. 技術資料
1）使用維修說明書
2）顯微鏡使用說明書
