1．技術(shù)參數(shù)
1）光面積：4英寸
2）曝光波長(zhǎng)：365nm
3）分辨力：1.2um（膠厚2 um的正膠）
4）對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8um
5）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
7）樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm(各種不規(guī)則片) 厚度0.1mm--6mm
8）曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
9）照明不均勻性： 3%（ f100mm 范圍）
10）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
物鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍
目鏡三對(duì)：4倍、10倍、20倍
11）掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o
12）焦厚：350mm（SU8膠，用戶提供檢測(cè)條件）
13）光源平行性：3.5 o
14）曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 o
15）汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
2．外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）′900mm(寬) ′1750mm（高）
3．配置
3.1. 曝光頭
1）冷光橢球鏡
2）350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
3）XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
4）冷卻風(fēng)扇
5）光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
3.2. 對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
1）掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
2）掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
3）轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
4）樣片調(diào)平機(jī)構(gòu), 手動(dòng)
5）樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)
6）承片臺(tái)3個(gè)（?50mm 、?75mm 、 ?100mm）
7）掩模夾4個(gè)（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
8）基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
3.3. 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
1）光源（配備品2只）、 電源
2）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
3）目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
4）CCD及21英寸液晶顯示器
5）物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
3.4. 電控系統(tǒng)
1）汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
2）單片機(jī)控制系統(tǒng)
3）控制箱
3.5. 氣動(dòng)系統(tǒng)
1）氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
2）電磁閥驅(qū)動(dòng)
3）氣動(dòng)儀表
3.6. 其他附件
1）真空泵一臺(tái)
2）空壓機(jī)一臺(tái)
3）管道
3.7. 技術(shù)資料
1）使用維修說明書
2）顯微鏡使用說明書
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