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真空等離子表面清洗機(jī)由電器控制及操作系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、13．56MHz射頻電源、真空泵等部分組成。利用等離子體活潑的物理化學(xué)電磁流體特性，可以實(shí)現(xiàn)一系列傳統(tǒng)濕法處理所不能實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)過程和處理效果，等離子表面清洗作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式 ， 可以有效去除表面污染物，實(shí)現(xiàn)去除分子水平污染物的一種工藝過程，同時(shí)也可提高其表面活性。
♦射頻電源功率0到600W可調(diào)，頻率為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動(dòng)運(yùn)行裝置，開始排氣，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要2min。
（2）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100Pa。根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮?dú)獾葰怏w。
（3）在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體籠罩住被處理工件，開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
（4）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及氣化的污垢排出，同時(shí)向真空室內(nèi)鼓入空氣，并使氣壓升至一個(gè)大氣壓。
電子行業(yè)：LED支架、IC等的清潔和焊接性增強(qiáng)處理;電子元器件的綁定性增強(qiáng);陶瓷基板的激活；
包裝行業(yè)：PET、PP、OPP等粘膠前的表面處理，大大降低膠水的使用成本
印刷行業(yè)：金屬、玻璃、橡膠、塑料、復(fù)合材料等表面絲印、移印前的等離子處理后，提高油墨的附著力;
汽車行業(yè)：車燈粘接、鍍鋁，注塑，剎車片保險(xiǎn)杠、引擎控制蓋經(jīng)等離子處理后綁定性更加牢靠;車身及零部件的噴漆、鍍膜預(yù)處理
塑料行業(yè)：塑料與橡膠、金屬、玻璃等的粘接預(yù)處理;玩具、手機(jī)殼、電腦殼等噴漆前預(yù)處理，可提高油墨附著性；
真空等離子表面清洗機(jī)是通過等離子所含活性粒子與污染物分子反應(yīng)或利用產(chǎn)生的粒子轟擊被清洗表面，使污染物從被清洗表面分離的清洗方法，需要指出的是通過化學(xué)反應(yīng)或者物理轟擊，也會(huì)對被清洗表面改性，提高潤濕性和膜的附著力。
真空等離子表面清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
♦射頻電源功率0到600W可調(diào)，頻率為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
真空等離子表面清洗機(jī)的運(yùn)行過程如下：
（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動(dòng)運(yùn)行裝置，開始排氣，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要2min。
（2）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100Pa。根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮?dú)獾葰怏w。
（3）在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體籠罩住被處理工件，開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
（4）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及氣化的污垢排出，同時(shí)向真空室內(nèi)鼓入空氣，并使氣壓升至一個(gè)大氣壓。
真空等離子表面清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域：
電子行業(yè)：LED支架、IC等的清潔和焊接性增強(qiáng)處理;電子元器件的綁定性增強(qiáng);陶瓷基板的激活；
包裝行業(yè)：PET、PP、OPP等粘膠前的表面處理，大大降低膠水的使用成本
印刷行業(yè)：金屬、玻璃、橡膠、塑料、復(fù)合材料等表面絲印、移印前的等離子處理后，提高油墨的附著力;
汽車行業(yè)：車燈粘接、鍍鋁，注塑，剎車片保險(xiǎn)杠、引擎控制蓋經(jīng)等離子處理后綁定性更加牢靠;車身及零部件的噴漆、鍍膜預(yù)處理
塑料行業(yè)：塑料與橡膠、金屬、玻璃等的粘接預(yù)處理;玩具、手機(jī)殼、電腦殼等噴漆前預(yù)處理，可提高油墨附著性；
真空等離子表面清洗機(jī)是通過等離子所含活性粒子與污染物分子反應(yīng)或利用產(chǎn)生的粒子轟擊被清洗表面，使污染物從被清洗表面分離的清洗方法，需要指出的是通過化學(xué)反應(yīng)或者物理轟擊，也會(huì)對被清洗表面改性，提高潤濕性和膜的附著力。
| 項(xiàng)目 | 型號規(guī)格 | 參數(shù) |
| 等離子體發(fā)生器 | 功率 | 0-600W可調(diào) |
| 頻率 | 40KHz/13.56MHz | |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制 | |
| 真空反應(yīng)腔室 | 腔體內(nèi)部尺寸 | 450*450*500（寬*高*深） |
| 材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 | |
| 電極層數(shù) | 7層 | |
| 腔體容積 | 100L | |
| 工作托盤 | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)） | |
| 電極板分布方式 | 平板電極，可靈活抽取 | |
| 控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 觸摸屏 | 七寸觸摸屏 | |
| 氣體系統(tǒng) | 氣體通道 | 標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span> |
| 氣體流量控制 | MFC氣體質(zhì)量流量計(jì) | |
| 外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 1100*1750*1000（寬*高*深） |
