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真空等離子清洗機(jī)包括反應(yīng)室、射頻電源及匹配系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工藝氣路系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等。真空等離子清洗機(jī)的工作原理是：在有效的真空度內(nèi)，利用2個(gè)電極形成電磁場(chǎng).隨著氣體越來越稀薄，分子之間受磁場(chǎng)作用發(fā)生碰撞而形成等離子體并產(chǎn)生輝光.等離子體在真空腔體空間內(nèi)自由運(yùn)動(dòng)，不斷轟擊被處理材料表面并與其反應(yīng)生成產(chǎn)物分子，撤去真空條件后，材料表面的產(chǎn)物分子與空氣接觸發(fā)生解析，生成活性基團(tuán)。
♦射頻電源功率選擇為0到1000W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦平行平板型的電極結(jié)構(gòu)，使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體，并且也能提供的樣品裝載能力，因此滿足均勻性和生產(chǎn)能力的要求。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、占地面積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
♦用PLC控制，工藝過程全自動(dòng)完成，具有良好的互鎖和報(bào)警功能。
電子領(lǐng)域：可用此技術(shù)做混合電路、PCB板、SMT、BGA、導(dǎo)線框和平板顯示器的清洗和刻蝕；
微流體器件：微流體裝置需要親水性的表面以便于分析物可以持續(xù)平緩的流經(jīng) 用等離子體處理可以氧化微通道的表面，使它們變成親水性，從而防止氣泡的形成。電動(dòng)抽吸時(shí)的表面電荷密度同樣會(huì)影響流動(dòng)速率。等離子體可以有效地促進(jìn)帶電表面的電滲透流動(dòng)。這是用等離子處理微流體器件的又一個(gè)好處。
塑料塑膠：等離子處理技術(shù)很適合處理膠接前的塑料、金屬、陶瓷、玻璃等材料。在處理時(shí)可以在原子級(jí)別使表面粗糙化，從而提供更多的表面結(jié)合位置，改善粘合效果。 同時(shí)，還可以通過等離子中的活性原子化學(xué)性的改變表面，從而在基體材料表面形成很強(qiáng)的化學(xué)鍵。這些急性鍵可以幫助水和粘合劑浸潤(rùn)到所有塑料縫隙中。這樣就可以極大地改善粘合性能。在有些應(yīng)用中，結(jié)合力甚至可以提高50倍以上。
印刷電路板（PCB）：去孔內(nèi)膠渣 ，孔內(nèi)去膠渣是目前等離子清洗技術(shù)在PCB領(lǐng)域應(yīng)用較多、較廣的工藝。膠渣也是以碳?xì)浠衔餅橹?，能夠與等離子中的離子或自由基很容易的發(fā)生反應(yīng)，生成揮發(fā)性的碳?xì)溲趸衔?，最后由抽真空系統(tǒng)帶出。
1、等離子處理技術(shù)屬干式工藝，節(jié)省能源，無公害物排放。
2、處理時(shí)間短、效率高。
3、對(duì)處理對(duì)象無嚴(yán)格要求，具有廣泛的適用性。
4、能處理外形復(fù)雜結(jié)構(gòu)的材料，互有較好的處理均勻性。
5、反應(yīng)溫度低，特別是高分子材料，不會(huì)引起形變.。
6、對(duì)材料表面處理只有深度幾納米到幾百納米，不會(huì)改變材料的基體性。
真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
♦射頻電源功率選擇為0到1000W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦平行平板型的電極結(jié)構(gòu)，使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體，并且也能提供的樣品裝載能力，因此滿足均勻性和生產(chǎn)能力的要求。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、占地面積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
♦用PLC控制，工藝過程全自動(dòng)完成，具有良好的互鎖和報(bào)警功能。
真空等離子清洗機(jī)常見應(yīng)用：
電子領(lǐng)域：可用此技術(shù)做混合電路、PCB板、SMT、BGA、導(dǎo)線框和平板顯示器的清洗和刻蝕；
微流體器件：微流體裝置需要親水性的表面以便于分析物可以持續(xù)平緩的流經(jīng) 用等離子體處理可以氧化微通道的表面，使它們變成親水性，從而防止氣泡的形成。電動(dòng)抽吸時(shí)的表面電荷密度同樣會(huì)影響流動(dòng)速率。等離子體可以有效地促進(jìn)帶電表面的電滲透流動(dòng)。這是用等離子處理微流體器件的又一個(gè)好處。
塑料塑膠：等離子處理技術(shù)很適合處理膠接前的塑料、金屬、陶瓷、玻璃等材料。在處理時(shí)可以在原子級(jí)別使表面粗糙化，從而提供更多的表面結(jié)合位置，改善粘合效果。 同時(shí)，還可以通過等離子中的活性原子化學(xué)性的改變表面，從而在基體材料表面形成很強(qiáng)的化學(xué)鍵。這些急性鍵可以幫助水和粘合劑浸潤(rùn)到所有塑料縫隙中。這樣就可以極大地改善粘合性能。在有些應(yīng)用中，結(jié)合力甚至可以提高50倍以上。
印刷電路板（PCB）：去孔內(nèi)膠渣 ，孔內(nèi)去膠渣是目前等離子清洗技術(shù)在PCB領(lǐng)域應(yīng)用較多、較廣的工藝。膠渣也是以碳?xì)浠衔餅橹?，能夠與等離子中的離子或自由基很容易的發(fā)生反應(yīng)，生成揮發(fā)性的碳?xì)溲趸衔?，最后由抽真空系統(tǒng)帶出。
真空等離子清洗機(jī)處理優(yōu)勢(shì)：
1、等離子處理技術(shù)屬干式工藝，節(jié)省能源，無公害物排放。
2、處理時(shí)間短、效率高。
3、對(duì)處理對(duì)象無嚴(yán)格要求，具有廣泛的適用性。
4、能處理外形復(fù)雜結(jié)構(gòu)的材料，互有較好的處理均勻性。
5、反應(yīng)溫度低，特別是高分子材料，不會(huì)引起形變.。
6、對(duì)材料表面處理只有深度幾納米到幾百納米，不會(huì)改變材料的基體性。
| 項(xiàng)目 | 型號(hào)規(guī)格 | 參數(shù) |
| 等離子體發(fā)生器 | 功率 | 0-1000W可調(diào) |
| 頻率 | 40KHz/13.56MHz | |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制 | |
| 真空反應(yīng)腔室 | 腔體內(nèi)部尺寸 | 500*500*675（寬高深） |
| 材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 | |
| 電極層數(shù) | 7層 | |
| 腔體容積 | 150L | |
| 工作托盤 | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)） | |
| 電極板分布方式 | 平板電極，可靈活抽取 | |
| 控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 觸摸屏 | 七寸觸摸屏 | |
| 氣體系統(tǒng) | 氣體通道 | 標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span> |
| 氣體流量控制 | MFC氣體質(zhì)量流量計(jì) | |
| 外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 1150*1750*1050（寬*高*深） |
