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真空等離子清洗設(shè)備由清洗結(jié)構(gòu)由控制單元、真空腔及真空泵組成。等離子清洗設(shè)備產(chǎn)生的等離子體在真空環(huán)境下的活性能量幾乎破壞所有的化學(xué)鍵，在所有暴露表面引起化學(xué)反應(yīng)。清洗過程中，無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)，氣相物質(zhì)吸附在固體 表面，被吸附基團與固體表面分子解析形成氣相，反應(yīng)殘余物脫離表面。
♦所有元器件及核心部件采用進(jìn)口配置，保證了整機的穩(wěn)定性和使用壽命。
♦真空泵采用進(jìn)口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時間工作的體系，在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵 的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的 散熱體系，無需水冷。泵體內(nèi)置于機柜內(nèi)部，使機器緊湊，占地面積小。
♦控制方式:自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數(shù)、工藝過程實時監(jiān)控，并顯示運行狀態(tài)、報警記錄和工藝 曲線記錄、工作時間記錄，適合維護，可以提供工藝參考。
♦電源功率、潔凈壓力、射頻功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數(shù)可設(shè)置。
♦可存儲100組工藝配方，隨意調(diào)用。 工藝參數(shù)受密碼保護，分級密碼管理查詢。
♦電極采用高通量等離子結(jié)構(gòu)，牢固可靠易拆卸。
♦反應(yīng)倉為矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調(diào)。
♦真空泵采用雙腔式旋片泵，及限真空度可達(dá)2Pa以下，一般采用外置。
♦一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。
♦自動提醒系統(tǒng)堆護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。
♦氣體質(zhì)量流量計用的是直聯(lián)式油旋片真空泵，由模擬量輸入輸出，量程為0-2000m可在量程范圍內(nèi)無級調(diào)節(jié)、針閩等 控制工藝氣體流量。
♦根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設(shè)備，油過濾器，過德返油裝置等。
♦電極結(jié)構(gòu)()的高等離子通量設(shè)計 能很好地提高等離子體的均勻性及穩(wěn)定性。
⑴經(jīng)等離子清洗后被清洗物是干燥的，無需像其它清洗方法再進(jìn)行干燥處理，提高效率。
⑵使操作者遠(yuǎn)離有害試劑的危害，降低對環(huán)境的污染。
⑶避免濕法清洗的直接接觸使微小精密部件破損變形。
⑷等離子體的無序性使它可以深入清洗微細(xì)孔眼及凹陷部位，對清洗物形狀沒有要求且清洗效果優(yōu)于試劑清洗。
⑸工藝流程短，只有幾分鐘，極大提高效率。
⑹工作真空條件約100Pa，容易達(dá)到要求，設(shè)備成本低性價比高于有機溶劑洗發(fā)。
⑺適用材料廣泛，金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物都可以適用等離子體處理。
⑻可改善材料表面性能，提高潤濕性和膜粘著力等。
等離子清洗技術(shù)主要利用低溫等離子體產(chǎn)生的非平衡電子、離子和自由基等粒子的濺射和刻蝕所帶來的物理和化學(xué)變化。等離子清洗技術(shù)能有效的清除金屬、陶瓷、塑料表面的有機污染物，可以顯著增加物體的表面能，提高浸潤性和粘合性，達(dá)到提高焊接強度的效果。
真空等離子清洗設(shè)備產(chǎn)品特點：
♦所有元器件及核心部件采用進(jìn)口配置，保證了整機的穩(wěn)定性和使用壽命。
♦真空泵采用進(jìn)口旋片泵，是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長時間工作的體系，在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵 的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的 散熱體系，無需水冷。泵體內(nèi)置于機柜內(nèi)部，使機器緊湊，占地面積小。
♦控制方式:自動控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數(shù)、工藝過程實時監(jiān)控，并顯示運行狀態(tài)、報警記錄和工藝 曲線記錄、工作時間記錄，適合維護，可以提供工藝參考。
♦電源功率、潔凈壓力、射頻功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數(shù)可設(shè)置。
♦可存儲100組工藝配方，隨意調(diào)用。 工藝參數(shù)受密碼保護，分級密碼管理查詢。
♦電極采用高通量等離子結(jié)構(gòu)，牢固可靠易拆卸。
♦反應(yīng)倉為矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調(diào)。
♦真空泵采用雙腔式旋片泵，及限真空度可達(dá)2Pa以下，一般采用外置。
♦一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清洗結(jié)束提示等。
♦自動提醒系統(tǒng)堆護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。
♦氣體質(zhì)量流量計用的是直聯(lián)式油旋片真空泵，由模擬量輸入輸出，量程為0-2000m可在量程范圍內(nèi)無級調(diào)節(jié)、針閩等 控制工藝氣體流量。
♦根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設(shè)備，油過濾器，過德返油裝置等。
♦電極結(jié)構(gòu)()的高等離子通量設(shè)計 能很好地提高等離子體的均勻性及穩(wěn)定性。
真空等離子清洗設(shè)備產(chǎn)品優(yōu)勢：
⑴經(jīng)等離子清洗后被清洗物是干燥的，無需像其它清洗方法再進(jìn)行干燥處理，提高效率。
⑵使操作者遠(yuǎn)離有害試劑的危害，降低對環(huán)境的污染。
⑶避免濕法清洗的直接接觸使微小精密部件破損變形。
⑷等離子體的無序性使它可以深入清洗微細(xì)孔眼及凹陷部位，對清洗物形狀沒有要求且清洗效果優(yōu)于試劑清洗。
⑸工藝流程短，只有幾分鐘，極大提高效率。
⑹工作真空條件約100Pa，容易達(dá)到要求，設(shè)備成本低性價比高于有機溶劑洗發(fā)。
⑺適用材料廣泛，金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物都可以適用等離子體處理。
⑻可改善材料表面性能，提高潤濕性和膜粘著力等。
等離子清洗技術(shù)主要利用低溫等離子體產(chǎn)生的非平衡電子、離子和自由基等粒子的濺射和刻蝕所帶來的物理和化學(xué)變化。等離子清洗技術(shù)能有效的清除金屬、陶瓷、塑料表面的有機污染物，可以顯著增加物體的表面能，提高浸潤性和粘合性，達(dá)到提高焊接強度的效果。
| 型號 | 真空等離子清洗機NE-PE80F |
| 等離子體發(fā)生器頻率 | 13.56MHz |
| 射頻電源功率 | （0～600）W 可調(diào) |
| 工作真空度 | 30～150Pa |
| 反應(yīng)倉工作溫度 | 30~60℃ |
| 氣體流量 | (0～200)ml/min |
| 控制方式 | 采用觸摸屏人機界面的PLC控制 |
| 腔體材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 |
| 輸入電壓 | 380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五線 |
| 氣體通道 | 標(biāo)準(zhǔn)兩路，可增加，可通入氧氣氬氣氮氣等 |
| 設(shè)備功率 | ≤4kW |
| 外形尺寸 | L1200×W1100×H1850（mm） |
| 反應(yīng)倉尺寸 | W450mm×H400mm×D470mm |
