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真空等離子清洗機(jī)是通過控制由密閉腔室連接真空泵、RF電源和進(jìn)氣控制的裝置系統(tǒng)產(chǎn)生的等離子體，通過化學(xué)或物理作用對放置在電極(正極和負(fù)極)和非電極(懸浮極)載物托盤上的工件表面進(jìn)行納米級處理，實(shí)現(xiàn)分子水平的多余材料和沾污去除，改善工件表面極性性能，為下步工藝做好基礎(chǔ)的工藝過程設(shè)備。被清除的材料和沾污可能有:有機(jī)物如玻璃表面的油污、環(huán)氧基聚合物、氧化物如氧化銀等、氮氧化物、光刻膠，焊料殘余、金屬鹽等。
♦射頻電源功率選擇為0到600W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
等離子體中存在以下物質(zhì)處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子處于激發(fā)狀態(tài)的中性原子、 分子、原子團(tuán)自由基離子化的原子、分子分子解離反應(yīng)過程中生成的輻射光線 未反應(yīng)的分子、原子等。 而等離子體清洗正是利用等離子體內(nèi)上述各種高能粒子和自由基的活化作用,將附 著在基體表面的有機(jī)物、氧化物等污垢逐步活化分解,最終蒸發(fā)或脫離工件表面的過程。 就反應(yīng)機(jī)理來說,等離子體清洗通常包括以下過程工作氣體被激發(fā)為等離子態(tài)氣相 激發(fā)態(tài)物質(zhì)被吸附在固體表面被吸附粒子基團(tuán)與固體表面污染物反應(yīng)生成產(chǎn)物分子 產(chǎn)物分子解析形成氣相反應(yīng)殘余物脫離表面。
以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，等離子體對油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發(fā)生燃燒反應(yīng)，但不同之處是在低溫情況下發(fā)生的"燃燒"。其基本原理:氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發(fā)態(tài)的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。 
等離子清洗已應(yīng)用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗技術(shù)，就沒有今日這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外，等離子清洗技術(shù)也應(yīng)用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上，而且是產(chǎn)品提升的關(guān)鍵技術(shù)。比如說光學(xué)元件的鍍膜、延長模具或加工工具壽命的抗磨耗層、復(fù)合材料的中間層、織布或隱型鏡片的表面處理、微感測器的制造，超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或的抗磨耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步，才能開發(fā)完成。
通過等離子體清洗,材料表面發(fā)生多種物理、化學(xué)變化,或產(chǎn)生刻蝕而粗糙,或形成致密的交聯(lián)層,或引入極性基團(tuán),使親水性、粘結(jié)性、可染色性、生物相容性及電性能分別得到改善。在適宜的工藝條件下清洗材料表面,使其形態(tài)發(fā)生顯著變化,并引入多種自由基團(tuán),使表面由非極性、難粘性轉(zhuǎn)為有一定極性、易粘性和親水性,有利于粘結(jié)、涂覆和印刷。
真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
♦射頻電源功率選擇為0到600W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
真空等離子清洗機(jī)清洗原理：
等離子體中存在以下物質(zhì)處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子處于激發(fā)狀態(tài)的中性原子、 分子、原子團(tuán)自由基離子化的原子、分子分子解離反應(yīng)過程中生成的輻射光線 未反應(yīng)的分子、原子等。 而等離子體清洗正是利用等離子體內(nèi)上述各種高能粒子和自由基的活化作用,將附 著在基體表面的有機(jī)物、氧化物等污垢逐步活化分解,最終蒸發(fā)或脫離工件表面的過程。 就反應(yīng)機(jī)理來說,等離子體清洗通常包括以下過程工作氣體被激發(fā)為等離子態(tài)氣相 激發(fā)態(tài)物質(zhì)被吸附在固體表面被吸附粒子基團(tuán)與固體表面污染物反應(yīng)生成產(chǎn)物分子 產(chǎn)物分子解析形成氣相反應(yīng)殘余物脫離表面。
以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，等離子體對油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發(fā)生燃燒反應(yīng)，但不同之處是在低溫情況下發(fā)生的"燃燒"。其基本原理:氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發(fā)態(tài)的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。
真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用：
等離子清洗已應(yīng)用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗技術(shù)，就沒有今日這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外，等離子清洗技術(shù)也應(yīng)用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上，而且是產(chǎn)品提升的關(guān)鍵技術(shù)。比如說光學(xué)元件的鍍膜、延長模具或加工工具壽命的抗磨耗層、復(fù)合材料的中間層、織布或隱型鏡片的表面處理、微感測器的制造，超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或的抗磨耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步，才能開發(fā)完成。
通過等離子體清洗,材料表面發(fā)生多種物理、化學(xué)變化,或產(chǎn)生刻蝕而粗糙,或形成致密的交聯(lián)層,或引入極性基團(tuán),使親水性、粘結(jié)性、可染色性、生物相容性及電性能分別得到改善。在適宜的工藝條件下清洗材料表面,使其形態(tài)發(fā)生顯著變化,并引入多種自由基團(tuán),使表面由非極性、難粘性轉(zhuǎn)為有一定極性、易粘性和親水性,有利于粘結(jié)、涂覆和印刷。
| 項(xiàng)目 | 型號規(guī)格 | 參數(shù) |
| 等離子體發(fā)生器 | 功率 | 0-600W可調(diào) |
| 頻率 | 40KHz/13.56MHz | |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制 | |
| 真空反應(yīng)腔室 | 腔體內(nèi)部尺寸 | 375*375*430（寬*高*深） |
| 腔體容積 | 60L | |
| 材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 | |
| 電極層數(shù) | 5層 | |
| 工作托盤 | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)） | |
| 電極板分布方式 | 平板電極，可靈活抽取 | |
| 控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 觸摸屏 | 七寸觸摸屏 | |
| 氣體系統(tǒng) | 氣體通道 | 標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span> |
| 氣體流量控制 | MFC氣體質(zhì)量流量計(jì) | |
| 外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 1100*1600*1000（寬*高*深） |
