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等離子清洗機(jī)可以在真空狀態(tài)下形成等離子體，可以對(duì)I材料表面進(jìn)行物理轟擊和化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使基底表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)抽真空排出，而達(dá)到清洗的目的，它可以達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果，不僅可以去除有機(jī)污染物、油污或油脂，還能夠改變ITO的功函數(shù)，改善材料表面的浸潤(rùn)能力，有利于后續(xù)工藝的進(jìn)行。
♦射頻電源功率選擇為0到1000W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來(lái)調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過(guò)電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦平行平板型的電極結(jié)構(gòu)，使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體，并且也能提供的樣品裝載能力，因此滿足均勻性和生產(chǎn)能力的要求。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來(lái)精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、占地面積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開(kāi)門(mén)，后方開(kāi)排氣孔、電源線孔，側(cè)面開(kāi)進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無(wú)磁性。
♦用PLC控制，工藝過(guò)程全自動(dòng)完成，具有良好的互鎖和報(bào)警功能。
平板顯示
1 、ITO面板的清潔活化； 2 、光刻膠的去除、 3 邦定點(diǎn)的清潔（COG）；
半導(dǎo)體行業(yè)
1、 晶圓制造： 光刻膠的去除； 2 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）： SU-8膠的去除 ；3 芯片封裝： a) 引線焊盤(pán)的清潔 b) 倒裝芯片底部填充 c) 改善封膠的粘合效果；
印刷電路板（PCB）
1、 特氟隆具有低傳導(dǎo)性，是保證信號(hào)快速傳輸、絕緣性好的很好的材料。但這些特性又使特氟隆很難進(jìn)行電鍍。因此在鍍銅之前必須先用等離子活化特氟隆的表面。
2、去除碳化物 ，激光鉆孔時(shí)產(chǎn)生的碳化物會(huì)影響孔內(nèi)鍍銅的效果?？梢杂玫入x子清洗來(lái)去除孔內(nèi)的碳化物。針對(duì)FPC而言，在經(jīng)壓制，絲印等高污染工序后同樣會(huì)有細(xì)小殘膠留于銅面，在后續(xù)表面處理時(shí)造成漏鍍，異色等問(wèn)題。
等離子清洗機(jī)（ plasma cleaner）也叫等離子表面處理機(jī)。等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，不同于物質(zhì)的固液汽三態(tài)，等離子體包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素 ( 亞穩(wěn) 態(tài) )、光子等。等離子清洗即是利用這些活性組分來(lái)處理清 洗物表面，實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆、改性、光刻膠灰化的目的。其工作原理是在真空腔室中，射頻電源在壓力下起輝產(chǎn)生無(wú)序的高能量等離子體轟擊被清洗物體表面。
真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
♦射頻電源功率選擇為0到1000W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來(lái)調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過(guò)電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦平行平板型的電極結(jié)構(gòu)，使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體，并且也能提供的樣品裝載能力，因此滿足均勻性和生產(chǎn)能力的要求。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來(lái)精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、占地面積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開(kāi)門(mén)，后方開(kāi)排氣孔、電源線孔，側(cè)面開(kāi)進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無(wú)磁性。
♦用PLC控制，工藝過(guò)程全自動(dòng)完成，具有良好的互鎖和報(bào)警功能。
真空等離子清洗機(jī)常見(jiàn)應(yīng)用：
平板顯示
1 、ITO面板的清潔活化； 2 、光刻膠的去除、 3 邦定點(diǎn)的清潔（COG）；
半導(dǎo)體行業(yè)
1、 晶圓制造： 光刻膠的去除； 2 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）： SU-8膠的去除 ；3 芯片封裝： a) 引線焊盤(pán)的清潔 b) 倒裝芯片底部填充 c) 改善封膠的粘合效果；
印刷電路板（PCB）
1、 特氟隆具有低傳導(dǎo)性，是保證信號(hào)快速傳輸、絕緣性好的很好的材料。但這些特性又使特氟隆很難進(jìn)行電鍍。因此在鍍銅之前必須先用等離子活化特氟隆的表面。
2、去除碳化物 ，激光鉆孔時(shí)產(chǎn)生的碳化物會(huì)影響孔內(nèi)鍍銅的效果?？梢杂玫入x子清洗來(lái)去除孔內(nèi)的碳化物。針對(duì)FPC而言，在經(jīng)壓制，絲印等高污染工序后同樣會(huì)有細(xì)小殘膠留于銅面，在后續(xù)表面處理時(shí)造成漏鍍，異色等問(wèn)題。
等離子清洗機(jī)（ plasma cleaner）也叫等離子表面處理機(jī)。等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，不同于物質(zhì)的固液汽三態(tài)，等離子體包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素 ( 亞穩(wěn) 態(tài) )、光子等。等離子清洗即是利用這些活性組分來(lái)處理清 洗物表面，實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆、改性、光刻膠灰化的目的。其工作原理是在真空腔室中，射頻電源在壓力下起輝產(chǎn)生無(wú)序的高能量等離子體轟擊被清洗物體表面。
| 項(xiàng)目 | 型號(hào)規(guī)格 | 參數(shù) |
| 等離子體發(fā)生器 | 功率 | 0-1000W可調(diào) |
| 頻率 | 40KHz/13.56MHz | |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制 | |
| 真空反應(yīng)腔室 | 腔體內(nèi)部尺寸 | 600*600*600（寬高深） |
| 材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 | |
| 電極層數(shù) | 9層 | |
| 腔體容積 | 200L | |
| 工作托盤(pán) | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)） | |
| 電極板分布方式 | 平板電極，可靈活抽取 | |
| 控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 觸摸屏 | 七寸觸摸屏 | |
| 氣體系統(tǒng) | 氣體通道 | 標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span> |
| 氣體流量控制 | MFC氣體質(zhì)量流量計(jì) | |
| 外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 1350*1750*1200（寬*高*深） |
