小型等離子表面處理機(jī)可應(yīng)用于多種材料,包括金屬、陶瓷、復(fù)合材料、塑料、聚合物和生物材料表面處理。包括材料表面清潔、表面活化、表面能改變、用于粘合和粘附的表面制備、表面化學(xué)改性,以及通過活化對聚合物和生物材料進(jìn)行表面處理、接枝和表面涂層。
小型等離子表面處理機(jī)的工作原理是在真空狀態(tài)下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子,然后與材料表面發(fā)生反應(yīng),通過等離子體表面處理,材料表面發(fā)生多種物理、化學(xué)變化,使材料表面清沽、活化,改善材料表面的親水性、枯結(jié)性,電性能等。
●產(chǎn)品體積小,精度高,實用,操作簡單,容易維護(hù)。
●寬泛的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍,可以使用多種工藝氣體,實現(xiàn)范圍的參數(shù)選擇。
●采用優(yōu)化的集成PLC工藝控制系統(tǒng),特別適合研發(fā)和小批量生產(chǎn)領(lǐng)域的需求。
●內(nèi)置兩路氣路,氣體流量可調(diào),無需再搭配氣體混合儀
●軟件、操作簡易,智能化設(shè)計,避免誤操作
●采用數(shù)字顯示壓力,實時觀察腔體壓力變化情況
●中英文操作系統(tǒng),觸摸屏控制,人機(jī)界面友好 電流、電壓實時監(jiān)測,確保儀器穩(wěn)定安全運(yùn)行
●處理時長可在觸摸屏設(shè)置,等離子處理時間精確到秒(s)
●處理功率30-99%無極可調(diào)
●316不銹鋼腔體,低溫,不損傷樣品,腔體內(nèi)溫度小于60°
●引線鍵合和封裝前的集成電路芯片清洗。
●用于去除碳?xì)浠衔镂廴疚锏?TEM 和 SEM 樣品。
●等離子表面處理親水或疏水表面潤濕性。
●表面處理以提高環(huán)氧樹脂/膠水的粘合強(qiáng)度。
●用于光學(xué)、激光和通信的玻璃和光纖頭清潔。
●提高 MEMS 微流體器件的潤濕性。
●圖案化后的光刻膠灰化和除渣。
等離子體表面處理是利用非聚合性無機(jī)氣體,如Ar、N2、H2、O2等氣體的輝光放電產(chǎn)生的等離子體對材料表面進(jìn)行修飾與改性的新技術(shù)。
小型等離子表面處理機(jī)原理:
小型等離子表面處理機(jī)的工作原理是在真空狀態(tài)下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子,然后與材料表面發(fā)生反應(yīng),通過等離子體表面處理,材料表面發(fā)生多種物理、化學(xué)變化,使材料表面清沽、活化,改善材料表面的親水性、枯結(jié)性,電性能等。
小型等離子表面處理機(jī)產(chǎn)品特點:
●產(chǎn)品體積小,精度高,實用,操作簡單,容易維護(hù)。
●寬泛的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍,可以使用多種工藝氣體,實現(xiàn)范圍的參數(shù)選擇。
●采用優(yōu)化的集成PLC工藝控制系統(tǒng),特別適合研發(fā)和小批量生產(chǎn)領(lǐng)域的需求。
●內(nèi)置兩路氣路,氣體流量可調(diào),無需再搭配氣體混合儀
●軟件、操作簡易,智能化設(shè)計,避免誤操作
●采用數(shù)字顯示壓力,實時觀察腔體壓力變化情況
●中英文操作系統(tǒng),觸摸屏控制,人機(jī)界面友好 電流、電壓實時監(jiān)測,確保儀器穩(wěn)定安全運(yùn)行
●處理時長可在觸摸屏設(shè)置,等離子處理時間精確到秒(s)
●處理功率30-99%無極可調(diào)
●316不銹鋼腔體,低溫,不損傷樣品,腔體內(nèi)溫度小于60°
小型等離子表面處理機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用:
●引線鍵合和封裝前的集成電路芯片清洗。
●用于去除碳?xì)浠衔镂廴疚锏?TEM 和 SEM 樣品。
●等離子表面處理親水或疏水表面潤濕性。
●表面處理以提高環(huán)氧樹脂/膠水的粘合強(qiáng)度。
●用于光學(xué)、激光和通信的玻璃和光纖頭清潔。
●提高 MEMS 微流體器件的潤濕性。
●圖案化后的光刻膠灰化和除渣。
等離子體表面處理是利用非聚合性無機(jī)氣體,如Ar、N2、H2、O2等氣體的輝光放電產(chǎn)生的等離子體對材料表面進(jìn)行修飾與改性的新技術(shù)。
序號 | 項目 | 型號規(guī)格 | 參數(shù) |
1 | 等離子發(fā)生器 | 功率 | 0-300W可調(diào) |
抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動阻抗匹配,遠(yuǎn)程通信控制 | ||
頻率 | 40KHz/13.56MHz | ||
2 | 真空反應(yīng)腔室 | 腔體材質(zhì) | 進(jìn)口 316 不銹鋼,級密封 |
腔體容積 | 5L | ||
電極數(shù)量 | 1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼 托盤 | ||
腔體直徑(圓形) | 150(W)×280(D)mm | ||
有效處理范圍 | 130(W)*245(D)mm | ||
絕緣陶瓷 | 進(jìn)口高頻陶瓷 | ||
3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器, 0-500ML |
氣路數(shù)量 | 2 路氣體通道,支持氧氣氬氣等 | ||
4 | 整機(jī)參數(shù) | 整機(jī)功率 | 1000W |
外形尺寸 | 長*寬*高 : 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |