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NE-PE10F是一款實用性和經(jīng)濟性兼具的小型臺式等離子表面處理機，帶有鉸鏈門、觀察窗和精細控制流量閥，適用于納米級表面清潔和小樣品的活化改性。
小型等離子表面處理機產(chǎn)品特點：
1. 桌面型，性能穩(wěn)定、操作簡便、使用成本極低、易于維護，高性價比。
2.觸摸屏控制，界面智能化設計，避免誤操作
3.采用平板氣浴電極，清洗效率高。
4.可選擇40KHz或13.56MHz等離子發(fā)生器。
5.內(nèi)置兩路氣路，氣體流量可調(diào)，無需再搭配氣體混合儀
6.可對各種幾何形狀、各種材質(zhì)的材料表面進行超精細清洗和表面改性。
小型等離子表面處理機清洗原理：
等離子體中存在以下物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激發(fā)狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基)；離子化的原子、分子；分子解離反應過程中生成的輻射光線；未反應的分子、原子等。
而等離子體清洗正是利用等離子體內(nèi)上述各種高能粒子和自由基的活化作用，將附著在基體表面的有機物、氧化物等污垢逐步活化分解，最終蒸發(fā)或脫離工件表面的過程。就反應機理來說，等離子體清洗通常包括以下過程：工作氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相激發(fā)態(tài)物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附粒子基團與固體表面污染物反應生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應殘余物脫離表面。
通過等離子體清洗，材料表面發(fā)生多種物理、化學變化，或產(chǎn)生刻蝕而粗糙，或形成致密的交聯(lián)層，或引入極性基團，使親水性、粘結(jié)性、可染色性、生物相容性及電性能分別得到改善。在適宜的工藝條件下清洗材料表面，使其形態(tài)發(fā)生顯著變化，并引入多種自由基團，使表面由非極性、難粘性轉(zhuǎn)為有一定極性、易粘性和親水性，有利于粘結(jié)、涂覆和印刷。
小型等離子表面處理機常見應用：
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末雜質(zhì)和油質(zhì)，增加石墨烯表面親水基團（-OH）提高親水性
金屬表面油污等離子清洗去除
PDMS等離子活化改性，提升親水性和鍵合力
ITO導電玻璃親水性處理并提高其功函數(shù)
| 序號 | 項目 | 型號規(guī)格 | 參數(shù) |
| 1 | 等離子發(fā)生器 | 功率 | 0-300W可調(diào) |
| 抗輻射干擾高頻匹配器 | 自動阻抗匹配，遠程通信控制 | ||
| 頻率 | 40KHz/13.56MHz | ||
| 2 | 真空反應腔室 | 腔體材質(zhì) | 進口 316 不銹鋼，級密封 |
| 腔體容積 | 10L | ||
| 電極數(shù)量 | 1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼 托盤 | ||
| 有效處理范圍 | 200（W）×200（D）mm | ||
| 處理層數(shù) | 2層 | ||
| 絕緣陶瓷 | 進口高頻陶瓷 | ||
| 3 | 氣路控制 | 氣體流量控制器 | 浮子針閥流量控制器， 0-500ML |
| 氣路數(shù)量 | 2 路氣體通道，支持氧氣氬氣等 | ||
| 4 | 整機參數(shù) | 整機功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 長*寬*高 ： 550mm(L)×550mm(W) ×650 mm(H) |
