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      晶圓等離子去膠機NE-PE13F

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱深圳納恩科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地深圳市
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2024/4/2 16:36:46
      • 訪問次數(shù)225
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      納恩科技始創(chuàng)于2010年,總部位于深圳市,在香港設有研發(fā)分公司,是一家專注于等離子材料表面清洗處理、真空鍍膜技術和智能裝備研發(fā),制造和銷售的高科技公司。目前主要產(chǎn)品包括真空等離子清洗機,磁控濺射鍍膜設備,離子濺射儀,等離子刻蝕設備,等離子表面處理設備,輝光放電儀等。公司核心研發(fā)團隊來源于香港大學等離子實驗室,香港理工大學材料工程學院和美國佐治亞理I學院的微電子學院。自成立以來,納恩科技圍繞等離子處理系統(tǒng)所需核心電源及底層算法進行技術布局,不斷拓展自主設計能力。目前已完成以MCU, ARM為核心的射頻芯片開發(fā)平臺,實現(xiàn)了芯芯的結(jié)構化和模塊化開發(fā)。具有高精度模擬、網(wǎng)絡阻抗匹配、功率驅(qū)動、功率器件、射頻和底層核心算法的設計能力,可針對不同細分領域等子處理系統(tǒng)需求,快速做出底層硬件組合,提高等離子系統(tǒng)的穩(wěn)定性和效率。公司著眼于化的戰(zhàn)略布局,目前在北京、上海、 成都,廈門均設立辦事處,在新加坡,尼黑設有辦公聯(lián)絡處。納恩科技以前沿的創(chuàng)新理念、的核心技術在我國制造裝備行業(yè)扮演著關鍵角色,公司堅持負"推動產(chǎn)業(yè)進步、保障國防安全、提升生活品質(zhì)”這一神圣使命,致力成為的等離子技術處理方案供應商,在世界高科技舞臺的同場競技之中,續(xù)寫中國等離子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新傳奇!
      產(chǎn)品型號:NE -PE13F 性能特點:體積小巧,操作簡單 產(chǎn)品用途:硅片晶圓去膠,電子元器件清洗
      晶圓等離子去膠機NE-PE13F 產(chǎn)品信息
      NE-PE13F等離子去膠機主要由高頻電源、電極、真空室、真空泵、控制系統(tǒng)等幾部分組成。目前普遍采用的等離子體去膠技術工藝都是在真空室里進行的。在反應系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使低壓氧氣產(chǎn)生等離子體,其中活化氣(或稱活潑的原子態(tài)氣)占有適當比例,可以迅速地使光刻膠氧化成可揮發(fā)性氣體狀態(tài)被機械泵抽走,從而把硅片上的光刻膠膜去除掉。在晶圓制造工藝中,等離子去膠機是通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應來去除光刻膠的。也常常加入N2或H2來提高去膠性能并加強對殘留聚合物的去除。因而典型的去膠機氣體使用的是O2/N2。光刻膠的基本成分是碳氫聚合物。氧原子很快與光刻膠反應生成揮發(fā)性的一氧化碳,二氧化碳,和水等主要生成物,被真空系統(tǒng)抽走,完成光刻膠的去除。

      NE-PE13F等離子去膠機產(chǎn)品特點:


      1. 性能穩(wěn)定、操作簡便、使用成本極低、易于維護,高性價比
      2. 體積小巧,有效處理面積大,可以輕松處理8寸硅片去膠等應用
      3. 采用平板氣浴電極,去膠效率高,電極間距可調(diào)
      4. 靈活的電極配置方案,最多可以處理2片8寸硅片
      5. 對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。
      6. 可實現(xiàn)電子元器件、組件及各種基板表面的等離子清洗,可有效去除連接表面的油污、殘膠及氧化膜等。


      等離子去膠機常見應用:


      高劑量離子注入光刻膠的去除
      濕法或干法刻蝕前后殘膠去除
      MEMS中犧牲層的去除
      去除化學殘余物
      去浮渣工藝
      SU-8光刻膠去除

      等離子去膠又稱干法式去膠,等離子去膠的好壞直接決定了成品率的高低,等離子去膠工藝主要是半導體單片掃膠、掃底膜工藝、元器件封裝前、芯片制造等行業(yè)中。
       

      型號 晶圓等離子去膠機NE-PE13F
      真空腔材質(zhì) 材質(zhì)6061-T6鋁合金
      真空腔體尺寸 240mm*300mm*200mm
      電極 平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
      電極尺寸 205mm *205mm
      等離子發(fā)生器頻率 13.56MHz (可選配40KHz射頻等離子源)
      功率 0-300W連續(xù)可調(diào)
      氣體控制 針式氣體流量閥, 60-600ml 2路氣體
      真空計 電偶式真空計,精度:0.01mTor
      控制方式 4.3寸工業(yè)控制觸摸屏控制

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