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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      三河建華高科有限責(zé)任公司


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      BG-408雙工位曝光機

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

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      更新時間:2023-07-08 11:21:30瀏覽次數(shù):196次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:8條

      所在地區(qū):

      產(chǎn)品簡介

      該設(shè)備為全自動曝光設(shè)備,主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光

      詳細介紹

      該設(shè)備為全自動曝光設(shè)備,主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對準(zhǔn)及曝光。本產(chǎn)品自動完成基片的傳輸、對準(zhǔn)與曝光工藝,操作方便、生產(chǎn)效率高、穩(wěn)定性高。

      主要技術(shù)特點

      對準(zhǔn)工作臺

      雙工位工作臺由X、Y、θ、Z向四維精密電機機構(gòu)組成,可實現(xiàn)間隙找平與曝光,在接觸模式可實現(xiàn)真空復(fù)印,板架有防掩摸版脫落機構(gòu)。

      傳輸系統(tǒng)

      傳輸系統(tǒng)實現(xiàn)了上片盒、預(yù)對準(zhǔn)、對準(zhǔn)工作臺、收片盒四個工位二維并行傳輸,限度減少了傳輸?shù)臅r間,提高了整機工作效率。

      預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)

      預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)采用機械式錐桶定心,使得預(yù)對準(zhǔn)定心更方便和可靠。

      控制系統(tǒng)

      采用工業(yè)計算機總線系統(tǒng),人機交互界面簡潔直觀,操作方便,同時提供個性化服務(wù)。

      主要技術(shù)指標(biāo)

       

      性能名稱

      技術(shù)指標(biāo)

      基片尺寸

      φ100mm

      掩模尺寸

      125mm×125mm

      曝光范圍(紫外光源)

      φ110mm

      硅片或襯底厚度

      0.2~1.1mm

      生產(chǎn)效率

      260片/小時(一次曝光,曝光時間3s)

      工作臺

      X向、Y向行程

      ±5mm

      Z行程

      28mm

      θ向

      ±5°

      對準(zhǔn)精度

      5μm

      曝光系統(tǒng)

      曝光分辨率

      2μm(接觸曝光,正膠膠厚1um)

      不均勻性

      ±3%

      光強(1000W汞燈)

      ≥40mW/cm2

      對準(zhǔn)

      顯微鏡

      總放大倍率:160×

      物鏡3×

      物鏡分離量

      60~110 mm

      預(yù)對準(zhǔn)顯微鏡

      掃正倍率:50×

      物鏡1×

      掃正物鏡

      固定

      尋邊倍率:160×

      物鏡3×

      尋邊物鏡分離量

      0~10mm

      外形尺寸

      1500mm×2200mm×2000mm

      重量

      1500kg

      整機功率

      2000W

       

      關(guān)鍵詞:
      曝光
      對準(zhǔn)
      物鏡
      系統(tǒng)
      傳輸
      工作臺
      倍率
      方便

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