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廣東海圣科技有限公司
參 考 價 | 面議 |
產品型號UVE-HSP5KAC
品 牌
廠商性質其他
所 在 地
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更新時間:2023-06-18 13:23:51瀏覽次數(shù):171次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)產品詳細介紹詳細參數(shù)內容規(guī)格A.一般規(guī)格電力系統(tǒng)AC380V350/60HZ平行光系統(tǒng)光源:Hg-Xe短弧燈
內容 | 規(guī)格 | |
A.一般規(guī)格 | ||
電力系統(tǒng) | AC380V 3φ 50/60HZ | |
平行光系統(tǒng) | 光源:Hg-Xe短弧燈,輸出功率5KW,單燈,雙面曝光 | |
平行半角(CHA):約2° 傾斜角(DA):<2° | ||
均勻度:≥85% | ||
強度:15mw/cm²@ 365 nm在玻璃臺面上量測 有效曝光面積 :546*622mm(21.5"*24.5") | ||
Panel規(guī)格 | 尺寸:305*355mm至546*622mm(12"*14"至21.5"*24.5") | |
厚度:0.1mm至3.0mm(0.004"至0.117") | ||
曝光作業(yè) | 高強度/雙面曝光 | |
對位系統(tǒng) | 1.CCD數(shù)量:4個(可自行設定2只/3只CCD對位或底片監(jiān)控) | |
2.清底片警報功能程序(片數(shù)可設定) | ||
3.可選擇單面曝光 | ||
4.任取CCD取像判讀( ) 固定取像CCD判讀( ) | ||
5.制程板對位:自動對位±20μm 6.CCD移動:自動到位 7.底片固定:雙溝槽式真空吸附 | ||
8.底片對位:自動對位可程序時間設定曝光3組,可程序能量設定曝光4組 | ||
曝光量設定 | 操作系統(tǒng):大型觸摸屏操作接口(PC+PLC) | |
操作方式 | 外部尺寸:L3390*W1545*H2270 | |
機臺尺寸 | 環(huán)控箱:L1300*W700*H1930 | |
B.系統(tǒng)框架 | ||
曝光臺框 | 雙曝光臺面,玻璃VS玻璃(真空吸嘴φ8mm) | |
內建臺框玻璃真空保護裝置 | ||
冷卻 | 燈室:由環(huán)控箱吹入燈箱冷卻 | |
曝光室:氣冷,抽取室內空氣經(jīng)HEPA吹入曝光室 | ||
潔凈控制 | 潔凈度等級:Class 1000 HEPA 高效濾網(wǎng) | |
UV光源監(jiān)控 | ||
光源保護:UV燈源點燈/熄燈/重點燈保護 | ||
功率控制:D/A轉換瓦數(shù)微調輸出 | ||
狀態(tài)監(jiān)視:內建電壓、電流、功率及UV強度傳感器 | ||
遮光器:橫向開啟,裝置于燈室內 | ||
曝光監(jiān)控:內建UV能量積算器 | ||
客戶外圍設備 | 規(guī)格1.電力:NFB40A 2.氣壓源:5kg/cm²以上 | |
4.冰水系統(tǒng):7-11℃/40|/min,1"管徑*2,1/2"管徑*11.內建內層三明治及CCD曝光模式 | ||
2.制程板固定Pin種類 | ||
φ1.98( )φ2.02( )φ3.125( )φ3.0( ) |
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