伯努利機械手指(非接觸式)
針對存在翹曲的晶圓,以及減薄晶圓設(shè)計的具有高性價比特點的伯努利原理機械手指
可以配套JEL所有類型的大氣搬運機械手臂使用
- 利用伯努利原理產(chǎn)生的氣流壓力差吸附晶圓
- 通過夾持晶圓邊緣的方式限制晶圓在傳輸過程中可能發(fā)生的位置偏移
- 除去晶圓邊緣和夾持卡爪之間的接觸之外,晶圓表面不會和手指的其他部分發(fā)生接觸
- 不同尺寸的晶圓需要使用不同的機械手指
- 相對于真空吸附方式的機械手指,伯努利原理機械手指的吸附力會分散在整個晶圓表面,更適合于減薄晶圓的傳輸
- 由于機械手指不接觸晶圓的正反面,所以能夠滿足不希望在傳輸過程中接觸晶圓正反面的特殊用戶需求
伯努利機械手指(非接觸式)可用于6、8、12寸晶圓的非接觸式End-Effector,非常適合減薄晶圓,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體后道工序設(shè)備
通過使用晶圓樣品進行實際的驗證傳輸測試,可以按照客戶的需要,針對不同尺寸,翹曲量,晶圓厚度的任意形狀的晶圓進行機械手指的定制設(shè)計