真空潔凈機(jī)械手臂可以使用在高真空環(huán)境里，能夠在真空環(huán)境下完成晶圓或者托盤等的傳輸。和大氣潔凈機(jī)械手臂不同的地方在于需要使用真空密封裝置來實(shí)現(xiàn)運(yùn)動機(jī)構(gòu)的動力傳輸。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機(jī)方式以及特種橡膠圈密封方式等。真空密封裝置主要有磁流體密封方式，真空電機(jī)方式以及特種橡膠圈密封方式等。這幾種方式中，磁流體密封裝置的應(yīng)用較為廣泛，同時(shí)也被廣泛使用的特種橡膠圈密封裝置具有價(jià)格便宜，便于維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)，而真空電機(jī)方式為的真空動力導(dǎo)入方式，具有潔凈度高，放氣量少的優(yōu)點(diǎn)。

真空潔凈機(jī)械手臂具有良好的性價(jià)比優(yōu)勢，做工精良，性能穩(wěn)定可靠，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，LED生產(chǎn)設(shè)備中的刻蝕設(shè)備，PVD設(shè)備以及CVD設(shè)備等。已經(jīng)成功進(jìn)入了中國大陸市場，獲得了中國客戶的*認(rèn)可。在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備上的實(shí)際應(yīng)用案例。位于真空腔室的*，通過真空機(jī)械手臂自帶的安裝法蘭和真空腔室對接。真空機(jī)械手臂的安裝法蘭和真空腔室之間一般使用氟橡膠O型圈來實(shí)現(xiàn)真空密封，特殊的情況也可以使用金屬密封圈。金屬密封圈適用于高溫或者高真空環(huán)境，但是也會帶來安裝和維護(hù)方面的難度。