4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂適用于液晶面板生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的玻璃基板搬運
Z軸升降范圍超過760 mm以上的部分為多段式，能夠有效地降低搬運高度

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬運，雙手臂結(jié)構(gòu)，玻璃基板搬運效率更高
 

• 機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：400 mm，500 mm
• Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z軸超過760 mm以上為多段式，實物和照片的外觀不同）
• 可搬運重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)15 kgf以下(400 mm，500 mm)
• 雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
• 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
• 配備動作監(jiān)視器
• 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
• 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機
• S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運玻璃基板
• 基板固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
• 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
• 手指可以安裝多種傳感器（校準(zhǔn)，有無，Mapping等）
• 可以針對被搬運物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)的手指
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4軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機械手臂

應(yīng)用設(shè)備實例

AOI設(shè)備；液晶工廠內(nèi)生產(chǎn)線
 

規(guī)格