JEL在日本國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的大氣潔凈機(jī)械手臂具有非常好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì),而且做工精良,性能穩(wěn)定可靠,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,LED生產(chǎn)設(shè)備以及液晶生產(chǎn)設(shè)備等??蛻糁饕植荚谌毡荆n國(guó)以及中國(guó)臺(tái)灣等地區(qū)。2013年JEL產(chǎn)品開始正式進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng),并成功應(yīng)用于中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商所獨(dú)立設(shè)計(jì),生產(chǎn)的中國(guó)國(guó)產(chǎn)設(shè)備,并獲得了中國(guó)客戶的*認(rèn)可。
大氣潔凈機(jī)械手臂通過和Aligner配合可以完成從片盒傳片到Loadlock腔室,或者從Loadlock腔室回收完成工藝流程的成品晶圓。JEL公司可以根據(jù)客戶需求定制滿足客戶要求的各種特殊機(jī)械手臂產(chǎn)品,比如可搬運(yùn)重量較重的托盤的大氣機(jī)械手臂,以及可用于清洗機(jī)設(shè)備的防水產(chǎn)品等等。