伯努利機(jī)械手指(接觸式)針對存在翹曲的晶圓,以及減薄晶圓設(shè)計(jì)的具有高性價(jià)比特點(diǎn)的伯努利原理機(jī)械手指
可以配套JEL所有類型的大氣搬運(yùn)機(jī)械手臂使用可用于6、8、12寸晶圓的非接觸式End-Effector,非常適合減薄晶圓,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體后道工序設(shè)備
通過使用晶圓樣品進(jìn)行實(shí)際的驗(yàn)證傳輸測試,可以按照客戶的需要,針對不同尺寸,翹曲量,晶圓厚度的任意形狀的晶圓進(jìn)行機(jī)械手指的定制設(shè)計(jì)
伯努利機(jī)械手指(接觸式)
- 利用伯努利原理的氣流壓力差吸附晶圓
- 利用橡膠墊和晶圓之間的摩擦力,防止晶圓在傳輸過程中可能發(fā)生的位置偏移
- 晶圓表面和機(jī)械手指的橡膠墊發(fā)生接觸,能夠同時(shí)對應(yīng)不同規(guī)格的晶圓(※特殊情況的組合下,存在無法實(shí)現(xiàn)不同尺寸晶圓兼顧的情況),相對于非接觸式機(jī)械手指,接觸式機(jī)械手指的厚度可以做到更薄
- 相對于真空吸附方式的手指,伯努利原理機(jī)械手指的吸附力會(huì)分散到整個(gè)晶圓表面,更適合用于減薄晶圓的傳輸