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脈沖激光沉積系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京正通遠恒科技有限公司
品牌其他品牌
型號Pioneer120
所在地北京市
廠商性質代理商
更新時間2024/5/7 15:04:43
訪問次數(shù)510

產(chǎn)品標簽:

PLD 薄膜沉積分子束外延分析系統(tǒng)

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京正通遠恒科技有限公司成立于2001年，是一家經(jīng)營歐美等國*科學測試儀器和設備，并將*進技術引入國內的科技服務型企業(yè)。目前，公司在北京、上海、廣州、深圳、合肥均設有辦事處。

公司用受人尊敬的、專業(yè)的方式來經(jīng)營公司的業(yè)務（HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way）。

公司的主營儀器包括：分子相互作用分析儀器、機器視覺儀器、表/界面分析測試儀器、界面/混凝土流變儀、薄膜沉積與表征儀器等。

公司愿景：公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求，以應用為基礎的專業(yè)儀器設備供應商、專有技術提供商，實現(xiàn)公司在行業(yè)內的超常規(guī)發(fā)展。

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分子相互作用分析儀器，機器視覺儀器，表/界面分析測試儀器，界面/混凝土流變儀，薄膜沉積與表征儀器等

產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	美國

Pioneer 120 PLD System是基礎型獨立PLD系統(tǒng)，用于制備高質量的外延薄膜、多層異質結、超晶格等。Pioneer 120 Advanced系統(tǒng)使用導電加熱階段用于襯底加熱，其他模型使用輻射加熱階段。

脈沖激光沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介

Pioneer120 PLD System是基礎型獨立PLD系統(tǒng)，用于制備高質量的外延薄膜、多層異質結、超晶格等。該PLD系統(tǒng)與Pioneer 120 Advanced系統(tǒng)和Pioneer 180 PLD系統(tǒng)的主要區(qū)別是襯底加熱階段。Pioneer 120 Advanced系統(tǒng)使用導電加熱階段用于襯底加熱，其他模型使用輻射加熱階段。為了達到950°c的額定高溫，基板必須與加熱板緊密接觸，用銀漿提供加熱板和基板之間的緊密接觸(當需要這些高溫時)。在不需要銀漿的情況下，還提供襯底夾來固定襯底。在這些情況下, highest 襯底溫度可能低于額定950°c。加熱器是氧兼容的，能達到1大氣(760托)的氧, 這個特性有助于制備外延氧化薄膜：可能需要在氧氣環(huán)境后沉積和氧氣壓力接近1 atmosphere后退火冷卻。Pioneer 120 PLD系統(tǒng)包括一個自動多目標轉，具有目標旋轉、目標光柵和軟件控制的多層和超晶格沉積所需的目標選擇。閉環(huán)壓力控制提供了使用質量流量控制器的精確過程壓力控制。干式泵是由機械隔膜泵或渦旋泵支持的渦輪分子泵組合而成。該系統(tǒng)軟件(Windows 7, LabView 2013)控制基材加熱器，目標轉，過程壓力，系統(tǒng)泵和激光觸發(fā)。

產(chǎn)品特點

獨立的交鑰匙PLD系統(tǒng)。

外延薄膜、多層異質結構和超晶格的沉積。

納米級薄膜的沉積。

外延氧化膜沉積的可編程氧兼容加熱器。

自動多目標旋轉多層沉積。

全干式真空泵組。

通過系統(tǒng)軟件進行閉環(huán)壓力控制。

技術指標

1、沉積室

8”CF泵口。8”CF襯底加熱器端口。8“CF的目標

2、旋轉端口