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      陜西愛姆加電子設備有限公司


      熱板烘烤爐

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      參   考   價: 500000

      訂  貨  量: ≥2 臺

      具體成交價以合同協議為準

      產品型號M+HP200-1

      品       牌其他品牌

      廠商性質生產商

      所  在  地西安市

      聯系方式:王強查看聯系方式

      更新時間:2023-12-23 11:35:05瀏覽次數:304次

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      產品簡介
      價格 面儀    

      一、主要技術規(guī)格:

      1. 適應2〞~8〞晶圓烘烤

      2. 熱板溫度:  60℃-300℃(溫度為150℃以上請勿合蓋)

      3. 溫度均勻性: ±1℃(Φ200mm以內區(qū)域)

      4. 手動開關爐蓋及放取硅片

      5. 電子定時:  1分鐘-99小時99分鐘,功率1000W

      6. 烘烤方式:接觸式烘烤晶片及多工位接近式烘烤
      二、主要結構和工作原理

      該熱板爐主要由熱板、管式加熱器、溫控儀、J 型熱電

      詳細介紹

      一、主要技術規(guī)格:

      1. 適應2〞~8〞晶圓烘烤

      2. 熱板溫度:  60℃-300℃(溫度為150℃以上請勿合蓋)

      3. 溫度均勻性: ±1℃(Φ200mm以內區(qū)域)

      4. 手動開關爐蓋及放取硅片

      5. 電子定時:  1分鐘-99小時99分鐘,功率1000W

      6. 烘烤方式:接觸式烘烤晶片及多工位接近式烘烤
      二、主要結構和工作原理

      該熱板爐主要由熱板、管式加熱器、溫控儀、J 型熱電偶、固態(tài)繼電器、時間繼電器等組成,

      本系統(tǒng)是一種閉環(huán)自動反饋控制系統(tǒng),通過PID調節(jié),求得系統(tǒng)溫度控制精度。

      三、安裝

      1.本系統(tǒng)應安放在水平臺面上,將機箱外的電源插座內

      2.外形尺寸:(L×W×H)280mm×300mm×400mm



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