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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      安徽智微科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      URE-2000/35型紫外光刻機(jī)
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地合肥市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：江先生查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2022-08-01 16:24:59瀏覽次數(shù)：233次
							
      
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      經(jīng)營模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：43條
      
						
      所在地區(qū)：安徽合肥市
      
						
      聯(lián)系人：江先生
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)：曝光面積：100mm×100mm分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）對準(zhǔn)精度：±0.8μm膠厚：300μm（SU8膠）掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
      微信截圖_20200116173236.png
      產(chǎn)品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機(jī)


      主要技術(shù)指標(biāo)：

      曝光面積：100mm×100mm
      分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）
      對準(zhǔn)精度：±0.8μm
      膠厚：300μm（SU8膠）
      掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
      樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
      照明均勻性：±4%（Ф100mm 范圍）
      汞燈功率：350W（直流）
      掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
      技術(shù)特點(diǎn)：
      創(chuàng)新采用三柔性支點(diǎn)實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機(jī)具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點(diǎn)。
      
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：顯微鏡
      
                                                				
      
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