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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      陜西愛姆加電子設(shè)備有限公司


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      程控式熱板爐

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      參  考  價:30000 - 800000 /臺
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 產(chǎn)品型號

        M+HP200

      • 品牌

        其他品牌

      • 廠商性質(zhì)

        生產(chǎn)商

      • 所在地

        西安市

      聯(lián)系方式:王強查看聯(lián)系方式

      更新時間:2023-12-20 14:52:22瀏覽次數(shù):240次

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      產(chǎn)品簡介
      依據(jù)配置 面儀    

      一、主要技術(shù)規(guī)格:

      1. 適應(yīng)2〞~8〞晶圓烘烤

      2. 熱板溫度:  60℃-300℃(溫度為150℃以上請勿合蓋)

      3. 溫度均勻性: ±1℃(Φ200mm以內(nèi)區(qū)域)

      4. 手動開關(guān)爐蓋及放取硅片

      5. 電子定時:  1分鐘-99小時99分鐘,功率1000W

      6. 烘烤方式:接觸式烘烤晶片及多工位接近式烘烤
      二、主要結(jié)構(gòu)和工作原理

      該熱板爐主要由熱板、管式加熱器、溫控儀、J 型熱電

      詳細(xì)介紹

      一、主要技術(shù)規(guī)格:

      1. 適應(yīng)2〞~8〞晶圓烘烤

      2. 熱板溫度:  60℃-300℃(溫度為150℃以上請勿合蓋)

      3. 溫度均勻性: ±1℃(Φ200mm以內(nèi)區(qū)域)

      4. 手動開關(guān)爐蓋及放取硅片

      5. 電子定時:  1分鐘-99小時99分鐘,功率1000W

      6. 烘烤方式:接觸式烘烤晶片及多工位接近式烘烤
      二、主要結(jié)構(gòu)和工作原理

      該熱板爐主要由熱板、管式加熱器、溫控儀、J 型熱電偶、固態(tài)繼電器、時間繼電器等組成,

      本系統(tǒng)是一種閉環(huán)自動反饋控制系統(tǒng),通過PID調(diào)節(jié),求得系統(tǒng)溫度控制精度。

      三、安裝

      1.本系統(tǒng)應(yīng)安放在水平臺面上,將機箱外的電源插座內(nèi)

      2.外形尺寸:(L×W×H)280mm×300mm×400mm




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