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      德?lián)P光電有限公司


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      桌上型曝光機(jī)

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      更新時(shí)間:2023-06-21 11:56:04瀏覽次數(shù):187次

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      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 保有全手動(dòng)之完整功能, 取消手動(dòng)機(jī)下方之機(jī)架以及后方之箱體,做最簡(jiǎn)化之設(shè)計(jì), 適合預(yù)算不多之客戶 。

      詳細(xì)介紹

      桌上型曝光機(jī)

      適合研究單位使用
      產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

      保有全手動(dòng)之完整功能, 取消手動(dòng)機(jī)下方之機(jī)架以及后方之箱體,做最簡(jiǎn)化之設(shè)計(jì), 適合預(yù)算不多之客戶 。

      紫外光源功率 : 350W or 500W 。

      曝光光源尺寸 : 4″, 5″ ,6″ , 8″。

      波長(zhǎng) : NUV(350W時(shí)365nm強(qiáng)度約16~20mW/cm2) 。

      均勻度 : +-5% 。

      電源供應(yīng)器 : 定功率控制 。

      快門(mén)控制計(jì)時(shí)器 : 0.1~999.9秒。

      采用可變倍率鏡頭影像系統(tǒng),總影像倍率100X-600X, 小型高解析黑白CCD攝影機(jī),

      19"LCD熒幕 LED同軸光源打光,影像解析度可達(dá) 1um 鏡頭位置調(diào)整,可前后左右上下微調(diào)約 20mm ,

      可選擇使用一組或兩組影像系統(tǒng), 選配快速掃描臺(tái),可快速移動(dòng)鏡頭,前后左右移動(dòng)約 10cm 。

      光罩真空吸盤(pán) : 4",5″, 6" 下吸式 。

      晶圓真空吸盤(pán) : 破片,2",3″ ,4″ 或 5" ,具光罩與晶圓平行面校正功能,

      晶圓真空吸盤(pán)可前后左右調(diào)整約 10mm,調(diào)整靈敏度 1um 旋轉(zhuǎn)調(diào)整約 5度,

      調(diào)整靈敏度 0.001度 Z軸可調(diào)整約 3mm, 調(diào)整靈敏度 1um, Z軸具千分表可顯示光罩與晶圓間距, Z軸可設(shè)定對(duì)準(zhǔn)與曝光兩種間隙,

      可調(diào)整接觸真空吸附力大小, 曝光模式有 Vacuum contact,Soft contact, Proximity,

      人工置放晶片與調(diào)整晶片位置,取放晶圓時(shí)光罩吸盤(pán)以手開(kāi)啟。

      采全手動(dòng)撥鈕操作系統(tǒng)以手動(dòng)控制面板操作。

      操作項(xiàng)目包括光罩與晶圓之更換,光罩與晶圓間隙之切換, 光罩與晶圓平行面校正,真空接觸之切換與真空值調(diào)整Z軸的歸零,

      鏡頭與曝光源左右交替移至對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上方,并有安全互鎖功能。

      桌上型大底板機(jī)座,具調(diào)整腳。

      采真空接觸曝光圖形解析可達(dá) 1um, 近接曝光依光罩與晶圓間隙可達(dá) 3~5um。

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