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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      德?lián)P光電有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：德?lián)P光電有限公司>>光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)>>桌上型曝光機(jī)
            
      
			
      
				
      
					
      桌上型曝光機(jī)
      
					返回列表頁(yè)
				
      
				
				
      
					
					

				
      
		            
			
      
				
      
					
											
      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2023-06-21 11:56:04瀏覽次數(shù)：187次
							
      
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      經(jīng)營(yíng)模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：6條
      
						
      所在地區(qū)：
      
																		
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 保有全手動(dòng)之完整功能， 取消手動(dòng)機(jī)下方之機(jī)架以及后方之箱體，做最簡(jiǎn)化之設(shè)計(jì)， 適合預(yù)算不多之客戶 。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                  
               
                           
                                    
                
                    
       
      桌上型曝光機(jī)
        
      適合研究單位使用 
        
      產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 
      保有全手動(dòng)之完整功能， 取消手動(dòng)機(jī)下方之機(jī)架以及后方之箱體，做最簡(jiǎn)化之設(shè)計(jì)， 適合預(yù)算不多之客戶 。
       
              
           
            
               
      曝光燈源
       
      紫外光源功率 : 350W or 500W 。
       
      曝光光源尺寸 : 4″， 5″ ，6″ ， 8″。
       
      波長(zhǎng) : NUV(350W時(shí)365nm強(qiáng)度約16~20mW/cm2) 。
       
      均勻度 : +-5% 。
       
      電源供應(yīng)器 : 定功率控制 。
       
      快門(mén)控制計(jì)時(shí)器 : 0.1~999.9秒。
       
       
      影像系統(tǒng)
       
      采用可變倍率鏡頭影像系統(tǒng)，總影像倍率100X-600X， 小型高解析黑白CCD攝影機(jī)，
       
      19"LCD熒幕 LED同軸光源打光，影像解析度可達(dá) 1um 鏡頭位置調(diào)整，可前后左右上下微調(diào)約 20mm ，
       
      可選擇使用一組或兩組影像系統(tǒng)， 選配快速掃描臺(tái)，可快速移動(dòng)鏡頭，前后左右移動(dòng)約 10cm 。
       
       
      曝光對(duì)準(zhǔn)臺(tái)
       
      光罩真空吸盤(pán) : 4"，5″， 6" 下吸式 。
       
      晶圓真空吸盤(pán) : 破片，2"，3″ ，4″ 或  5" ，具光罩與晶圓平行面校正功能，
       
      晶圓真空吸盤(pán)可前后左右調(diào)整約 10mm，調(diào)整靈敏度 1um 旋轉(zhuǎn)調(diào)整約 5度，
       
      調(diào)整靈敏度 0.001度 Z軸可調(diào)整約 3mm， 調(diào)整靈敏度 1um， Z軸具千分表可顯示光罩與晶圓間距， Z軸可設(shè)定對(duì)準(zhǔn)與曝光兩種間隙，
       
      可調(diào)整接觸真空吸附力大小， 曝光模式有 Vacuum contact，Soft contact， Proximity，
       
      人工置放晶片與調(diào)整晶片位置，取放晶圓時(shí)光罩吸盤(pán)以手開(kāi)啟。
       
       
      操作系統(tǒng)
       
      采全手動(dòng)撥鈕操作系統(tǒng)以手動(dòng)控制面板操作。
       
      操作項(xiàng)目包括光罩與晶圓之更換，光罩與晶圓間隙之切換， 光罩與晶圓平行面校正，真空接觸之切換與真空值調(diào)整Z軸的歸零，
       
      鏡頭與曝光源左右交替移至對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上方，并有安全互鎖功能。
       
       
      機(jī)座
       
      桌上型大底板機(jī)座，具調(diào)整腳。
       
       
      性能
       
      采真空接觸曝光圖形解析可達(dá) 1um， 近接曝光依光罩與晶圓間隙可達(dá) 3~5um。
       
           
            
                   
        
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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