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三河建華高科有限責(zé)任公司
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更新時(shí)間：2023-06-16 16:45:24瀏覽次數(shù)：1014次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)該設(shè)備主要用于LED、MEMS、IC等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓勻膠、、顯影、預(yù)烘工藝
該設(shè)備主要用于LED、MEMS、IC等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓勻膠、、顯影、預(yù)烘工藝。
主要技術(shù)特點(diǎn)
采用星型布局形式，結(jié)構(gòu)緊湊，效率高。
上/下片工位
鋁制標(biāo)準(zhǔn)晶圓片盒，不變形、易轉(zhuǎn)片。
雙臂機(jī)械手
選用進(jìn)口多關(guān)節(jié)雙臂機(jī)械手，不僅具有較高的剛度、靈活性，而且傳輸速度快，定位精度高。
勻膠單元
勻膠腔采用進(jìn)口PP材料制成，主軸電機(jī)采用進(jìn)口定制的中空軸交流無刷伺服電機(jī)，保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高，重復(fù)性、穩(wěn)定性好。
顯影單元
顯影腔特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)廢液收集、氣流控制等功能，使顯影工藝條件達(dá)到。
冷/熱板單元
冷板/熱板單元是對(duì)晶圓進(jìn)行預(yù)烘及冷卻處理，晶圓與盤體為非直接接觸方式，溫度穩(wěn)定、精度高。
主要技術(shù)指標(biāo)
晶圓尺寸：4″、6″
機(jī)械手：1套
勻膠單元：2套
顯影單元：2套
主軸轉(zhuǎn)速：0～6000rpm，最小調(diào)整量：1rpm
轉(zhuǎn)速精度：±1rpm(50～5000rpm)
主軸加速度：100～20000rpm/sec
膠液數(shù)量：2路
背洗功能：可選
去邊功能：可選
光刻膠供給：精密膠泵
光刻膠供給量：1～10ml
光刻膠供給精度：±0.1ml
光刻膠粘度：≤1000Cp
光刻膠過濾：可選
顯影液數(shù)量：2路
噴嘴形式：柱狀或H型
供液方式：不銹鋼壓力罐
背洗功能：有（純水）
熱板數(shù)量：≤9套
溫度范圍：室溫～180℃
最小調(diào)整量：0.1℃
加熱方式：云母加熱片加熱
溫度均勻性：±1℃@50℃～120℃、±2℃@120.1℃～180℃
增粘模塊：可選
冷板數(shù)量：≤3套
冷卻方式：廠務(wù)冷卻水循環(huán)冷卻
水溫范圍：18℃～30℃
外形尺寸：L1950mm×W1700mm×H1900mm
重量：1800Kg
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