派瑞林沉積過(guò)程是將二甲苯環(huán)二聚體加熱氣化后再經(jīng)高溫裂解成游離的氣相分子,并在真空、室溫條件下瞬間吸附在基板上聚合成膜,形成氣密性很好的保護(hù)膜。由于材料中不含溶劑,所以克服了以往使用的溶劑性涂料在烘干過(guò)程中因溶劑揮發(fā)而留下許多細(xì)微針孔的缺點(diǎn),可以提供真正的無(wú)針孔的保護(hù)膜。
派瑞林沉積設(shè)備分為4部分,如下圖所示,分別為150℃升華腔、680℃裂解腔、25℃沉積腔和-90℃的冷肼。它們是一個(gè)連續(xù)的過(guò)程, 三個(gè)腔室相互連通相輔相成,不同的溫度和不同的真空度決定了它們不同的設(shè)備結(jié)構(gòu)工藝。各個(gè)腔室良好的工藝結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)又保證了Parylene膜的均勻性、 膜的質(zhì)量度、成膜的速率、材料的利用率等等。當(dāng)然膜的質(zhì)量和Parylene原料的純凈度、質(zhì)量也有密切的關(guān)聯(lián)。各因素互相牽連、 互相制約,生產(chǎn)工藝具有很高的技術(shù)含量,所謂“三分設(shè)備七分工藝”就是這個(gè)原因吧!
派珂公司立式鍍膜設(shè)備根據(jù)沉積腔室的大小不同,可分為多種型號(hào)供客戶(hù)選擇。在此介紹下適用于高校研究所用的小型實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,該款設(shè)備將冷阱、真空泵和主機(jī)集為一體,縮小了設(shè)備整體的占地面積,滿(mǎn)足高校實(shí)驗(yàn)室的空間緊張的需求,同時(shí)該款設(shè)備進(jìn)料口采用特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使得派瑞林原料不易在石英玻璃管內(nèi)壁沉積,大大減少了清理的次數(shù)。
臥式鍍膜設(shè)備,對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行炒瓜子式的滾動(dòng)涂敷的方式進(jìn)行鍍膜,鍍膜時(shí)產(chǎn)品依然需要均速轉(zhuǎn)動(dòng),以達(dá)到鍍膜產(chǎn)品完好的外觀。適用于該方式的鍍膜產(chǎn)品有磁材材料、密封圈、動(dòng)物標(biāo)簽等尺寸較小的產(chǎn)品。