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應(yīng)用十七、氦質(zhì)譜檢漏儀用于 PECVD 鍍膜設(shè)備檢漏
德國Pfeiffer HLT 560 氦質(zhì)譜檢漏儀用于PECVD 鍍膜設(shè)備檢漏應(yīng)用實例(福建的太陽能晶體矽電池制造公司)
一、鍍膜設(shè)備檢漏原因
福建的太陽能晶體矽電池制造公司, 專業(yè)生產(chǎn)太陽能單晶和多晶電池片. 該公司在生產(chǎn)過程中應(yīng)用了PECVD沉積 Si3N3減反層, 4-5天設(shè)備需要保養(yǎng)一次(清潔MASK, 更換支架等等), 由于是清潔設(shè)備內(nèi)部, 所以存在內(nèi)部腔體密封性失效的可能. 如果鍍膜設(shè)備密封性不好, 鍍出來的產(chǎn)品膜厚會不均勻, 產(chǎn)品四周膜參數(shù)會不合格.
如果鍍膜設(shè)備保養(yǎng)完成后, 能做一次檢漏, 就可以避免很多不合格產(chǎn)品的產(chǎn)生, 達到節(jié)約生產(chǎn)成本的目的. 德國 Pfeiffer的HLT 560 氦質(zhì)譜檢漏儀具有操作簡單, 反應(yīng)靈敏的特點, 得到了客戶的青睞.
二、鍍膜設(shè)備檢漏操作
示意圖如下:
(1).將氦質(zhì)譜檢漏儀 HLT 560連接到泵組前的檢漏口上.
(2).啟動檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時啟動鍍膜設(shè)備的泵組.
(3).在鍍膜機內(nèi)部的真空下降到一定程度的時候,如0.5 mbar以下的時候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方,或者檢查標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)時動到的部位.這時需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當(dāng)漏率上升或漏率值變化劇烈的時候,及時指出漏點所在位置,并做記號.
(4).所有可疑點都檢測完成后,關(guān)閉檢漏儀,停下鍍膜機的泵組并將鍍膜機打開,將檢測出的漏點進行處理(如更換密封圈,清潔等等).處理完成后,再按照前敘步驟檢查一遍,直到所有漏點都被清除,檢漏過程完成.
伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司()主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。上海伯東作為國際真空品牌代理商，全權(quán)負責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，99% 使用原廠進口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務(wù)。
氦質(zhì)譜檢漏儀用于 PECVD 鍍膜設(shè)備檢漏 產(chǎn)品信息
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