国产强伦姧在线观看无码,中文字幕99久久亚洲精品,国产精品乱码在线观看,色桃花亚洲天堂视频久久,日韩精品无码观看视频免费

      您現(xiàn)在的位置:智能制造網(wǎng)>技術中心>Aston 質(zhì)譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測

      直播推薦

      更多>

      企業(yè)動態(tài)

      更多>

      推薦展會

      更多>

      Aston 質(zhì)譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測

      2024年10月17日 13:07:26人氣:19來源:伯東企業(yè)(上海)有限公司

      半導體工藝一般會產(chǎn)生各種工藝氣體和顆粒材料副產(chǎn)品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 上海伯東日本 Atonarp Aston 質(zhì)譜分析儀與 Scrubber 半導體尾氣處理設備聯(lián)用, 對處理完的氣體在線監(jiān)測分析, 并對分析數(shù)據(jù)進行監(jiān)控和記錄, 使其符合環(huán)境法規(guī).

      上海伯東 Aston™ 質(zhì)譜分析儀半導體尾氣檢測解決方案
      Aston 質(zhì)譜儀與半導體尾氣處理設備排氣端相連, 半導體廢氣處理設備 Scrubber 排出的氣體先經(jīng)過水洗塔內(nèi)進行噴淋水洗溶解, 帶走一些毒性腐蝕性排放物, 然后在使用 Aston 進行剩余氣體檢測和分析, 主要檢測 N2O 濃度等, 使其符合國際減排指標.

      Aston 質(zhì)譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測


      使用 Aston™ 質(zhì)譜分析儀優(yōu)勢
      體積小, 便于攜帶, 整機重量僅 13.7 KG
      與 GCMS 測試對比, 時時檢測, 不用特別取樣, 實現(xiàn)快速地減排氣體監(jiān)測
      可以根據(jù)進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數(shù)據(jù), 記錄日志
      能夠承受嚴酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl )氣體
      低至 PPB 水平的靈敏度

      Aston 質(zhì)譜儀技術參數(shù)

      Aston 質(zhì)譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測

      質(zhì)量分辨率

      0.8 u

      質(zhì)量穩(wěn)定性

      0.1 u

      靈敏度(FC / SEM)

      5x10-6 / 5x10-4 A/Torr

      檢測極限

      10 ppb

      工作壓力

      1X10-3 torr

      每單位停留時間

      40 ms

      每單位掃描更新率

      37 ms

      發(fā)射電流

      0.4 mA

      發(fā)射電流精度

      0.05%

      啟動時間

      5 mins

      離子電流穩(wěn)定性

      < ±1%

      濃度的準確性

      < 1%

      濃度穩(wěn)定性

      ±0.5%

      電力消耗

      350W

      重量

      13.7 Kg

      尺寸

      400 x 297 x 341 mm


      Aston™ 是一款全新設計堅固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導體制造和工業(yè)過程控制應用中氣體監(jiān)測和控制, 高定量精度和實時性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結合, 例如半導體 dry pump 尾氣偵測分析, 實現(xiàn)在線監(jiān)控, 診斷.

      若您需要進一步的了解 Atonarp  Aston™ 在線質(zhì)譜儀詳細信息或討論,
      請聯(lián)絡上海伯東: 葉女士 

      現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡上海伯東 葉女士
      上海伯東版權所有, 翻拷必究! 


      全年征稿/資訊合作 聯(lián)系郵箱:1271141964@qq.com

      免責聲明

      • 凡本網(wǎng)注明"來源:智能制造網(wǎng)"的所有作品,版權均屬于智能制造網(wǎng),轉載請必須注明智能制造網(wǎng),http://towegas.com。違反者本網(wǎng)將追究相關法律責任。
      • 企業(yè)發(fā)布的公司新聞、技術文章、資料下載等內(nèi)容,如涉及侵權、違規(guī)遭投訴的,一律由發(fā)布企業(yè)自行承擔責任,本網(wǎng)有權刪除內(nèi)容并追溯責任。
      • 本網(wǎng)轉載并注明自其它來源的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或證實其內(nèi)容的真實性,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品來源,并自負版權等法律責任。
      • 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。

      <
      更多 >

      工控網(wǎng)機器人儀器儀表物聯(lián)網(wǎng)3D打印工業(yè)軟件金屬加工機械包裝機械印刷機械農(nóng)業(yè)機械食品加工設備制藥設備倉儲物流環(huán)保設備造紙機械工程機械紡織機械化工設備電子加工設備水泥設備海洋水利裝備礦冶設備新能源設備服裝機械印染機械制鞋機械玻璃機械陶瓷設備橡塑設備船舶設備電子元器件電氣設備


      我要投稿
      • 投稿請發(fā)送郵件至:(郵件標題請備注“投稿”)1271141964.qq.com
      • 聯(lián)系電話0571-89719789
      工業(yè)4.0時代智能制造領域“互聯(lián)網(wǎng)+”服務平臺
      智能制造網(wǎng)APP

      功能豐富 實時交流

      智能制造網(wǎng)小程序

      訂閱獲取更多服務

      微信公眾號

      關注我們

      抖音

      智能制造網(wǎng)

      抖音號:gkzhan

      打開抖音 搜索頁掃一掃

      視頻號

      智能制造網(wǎng)

      公眾號:智能制造網(wǎng)

      打開微信掃碼關注視頻號

      快手

      智能制造網(wǎng)

      快手ID:gkzhan2006

      打開快手 掃一掃關注
      意見反饋
      關閉
      企業(yè)未開通此功能
      詳詢客服 : 0571-87858618