除塵頭里有一個超聲波發(fā)生腔和倆個真空吸附腔。塵粒在吸附層作用下粘附于玻璃基板表面,要想去除塵粒,必須克服塵粒的粘附力。
通過鼓風(fēng)機,給除塵頭的超聲波發(fā)生腔提供8-16Kpa的潔凈氣體,氣體通過超聲波發(fā)生器產(chǎn)生超聲波,利用超聲波傳播的能量及振動,使塵??朔AЩ灞砻娴恼掣搅?,以拉升、滾動及滑動三種運動方式(單一或混合)從玻璃基板表面脫離,使得塵粒從玻璃基板表面分離出來。
除塵頭的真空腔是用來吸附塵粒。當(dāng)塵粒從玻璃基板表面分離出來后,利用超聲波的反射將的塵粒帶動起來,運動的塵粒瞬間被清洗頭的真空吸附腔吸走,從而達到清洗玻璃表面塵粒的效果。

主要技術(shù)參數(shù) | |
有效清洗長度 | 0-700mm |
工作風(fēng)壓 | 8-16KPa |
除塵頭到工件的距離 | 5mm以內(nèi),1.5mm |
除塵頭到機箱的管長度 | 10米以內(nèi) |
清潔效率 | 3um塵粒 97%的清除率,6um塵粒 98%清除率 |
吐出風(fēng)溫度 | 小于45℃ |
噪音 | 小于80分貝 |
工作電壓 | 3 相 380V 50/60Hz(可選配三相220V) |
設(shè)備功能 | 高低頻瞬時啟動,溫度監(jiān)控反饋,風(fēng)壓監(jiān)控反饋,頻率監(jiān)控,PLC控制,參數(shù)觸摸屏設(shè)定,可實現(xiàn)MES連接 |
測試條件 與 驗收方法 | 測試條件:在100級潔凈室內(nèi)完成,工作高度1.5mm,工作氣壓14KPa,清洗速度 80mm/s,3um間隔粉。 |
驗收方法:在潔凈的清洗玻璃上噴撒間隔粉,目視區(qū)域120-150粒,200倍顯微鏡檢測,清除率達97%以上。 |
一、型號規(guī)格
工作間距:1.5mm.(出風(fēng)全部被吸回?zé)o泄漏的條件下,正壓為在除塵頭入口端口測量的內(nèi)部壓力)
型號 | 有效 寬幅 | 對應(yīng)機臺使用功率 | P (出風(fēng)口) | V (吸風(fēng)口) | ||
壓力(KPa) | 流量(L/min) | 壓力(KPa) | 流量(L/min) | |||
USC-PT-100 |
100mm |
1.5KW | 8 | 800 | -2 | 900 |
12 | 1000 | -3 | 1100 | |||
16 | 2000 | -3 | 2500 | |||
USC-PT-200 |
200mm |
1.5KW | 8 | 1500 | -2 | 2000 |
12 | 2000 | -3 | 2500 | |||
16 | 2500 | -3 | 3000 | |||
USC-PT-300
|
300mm |
3.0KW | 8 | 2500 | -2 | 3000 |
12 | 3000 | -3 | 3500 | |||
16 | 3500 | -3 | 4000 | |||
USC-PT-400
|
400mm |
5.5KW | 8 | 3200 | -2 | 3500 |
12 | 3600 | -3 | 4000 | |||
16 | 4000 | -3 | 4300 | |||
USC-PT-700 |
700mm |
5.5KW | 8 | 5600 | -2 | 6000 |
12 | 6000 | -3 | 6300 | |||
16 | 6500 | -3 | 6800 |