產(chǎn)品功能
● 閉合工藝腔體起到安全保護(hù)作用,材質(zhì) PP(SMD) 或不銹鋼 (SMD-E)
● 腔體能容納片子尺寸 200 mm
● 轉(zhuǎn)速 3000 轉(zhuǎn),誤差 +/-1 (依賴于基板尺寸和重量)
● 電驅(qū)動噴灑手臂,可靜態(tài)或動態(tài)顯影包含顯影管路和溶劑罐
● 手臂上有去離子水清洗和氮?dú)獯蹈蓹C(jī)械式固定基板
選配功能
● 額外的顯影管路(最多 4 路)
● 兩個(gè)顯影手臂
● 可加熱顯影罐(2 升)
● 不同大小材質(zhì)的噴嘴(PEEK,不銹鋼,0.3/0.5/0.8 mm)