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      R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng)

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號R-200Stand
      • 所  在  地上海
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時間2024/5/15 9:17:10
      • 訪問次數(shù)58
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      上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統(tǒng)集成、設備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復旦大學、上海微系統(tǒng)所等半導體相關專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。
      無線電綜合測試儀
      PICOSUN® R-200 標準 ALD 系統(tǒng)適用于數(shù)十種應用的研發(fā),例如 IC 組件、MEMS 設備、顯示器、LED、激光器和 3D 對象,例如透鏡、光學器件、珠寶、硬幣和醫(yī)療植入物。
      R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

      標準基板尺寸與類型

      50 mm - 200 mm 單晶片

      156 mm × 156 mm 太陽能硅晶片

      3D 對象

      粉末和顆粒

      小批量

      多孔、通孔和高縱橫比(高達 1:2500)


      工藝溫度

      50℃ - 500℃


      標準工藝

      Al2O3、TiO2、SiO2、Ta2O5、HfO2、ZnO、ZrO2、TiN、AlN、Pt 或 Ir 等金屬


      基板裝載

      使用氣動升降機手動裝載

      帶磁性機械臂的負載鎖


      前驅(qū)體

      液體、固體、氣體、臭氧

      多達 6 個源、帶 4 個獨立入口


      其他選項

      Picoflow™ 擴散增強劑、RGA、N2 發(fā)生器、氣體洗滌器、定制設計、惰性裝載手套箱兼容性

      關鍵詞:發(fā)生器
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