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      VF-1000 手動(dòng)研發(fā)立式爐管

      參考價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)VF-1000
      • 所  在  地上海
      • 廠商性質(zhì)其他
      • 更新時(shí)間2024/5/15 9:15:59
      • 訪問次數(shù)50
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      上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。
      無(wú)線電綜合測(cè)試儀
      這款用于實(shí)驗(yàn)和研發(fā)的小規(guī)模生產(chǎn)立式爐管實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量的處理。該立式爐管很緊湊,只需要很小的安裝面積,但可用于各種直徑的晶圓,具有與量產(chǎn)爐相同的溫度特性。
      VF-1000 手動(dòng)研發(fā)立式爐管 產(chǎn)品信息

      概述

      這款用于實(shí)驗(yàn)、研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)的立式爐管可用于從 2 英寸到 8 英寸以及 300 毫米的各種晶圓尺寸,小批量爐管的尺寸也可從多達(dá) 25 片一體式中進(jìn)行選擇。由于加熱器可以從 LGO 加熱器和各種其他加熱器中進(jìn)行選擇,因此工藝開發(fā)具有與量產(chǎn)爐管相同的爐口結(jié)構(gòu)和加熱器性能。該立式爐管可用于硅晶片處理(LPCVD、氧化和擴(kuò)散)、針對(duì)功率器件(Si 和 SiC)開發(fā)的硅柵氧氮化和活化退火,以及其他工藝。


      特性

      用于研發(fā)的高性能處理

      小批量,最多 25 片一體式進(jìn)行批量加工

      提供 2 至 8 英寸和 300 毫米晶圓尺寸

      配備 LGO 加熱器,實(shí)現(xiàn)與量產(chǎn)設(shè)備相同的高溫性能

      配備功能有限的簡(jiǎn)單控制系統(tǒng)


      規(guī)格

      外部尺寸:W1500 × D1000 × H2130 mm

      加熱器:LGO加熱器

      均熱區(qū)長(zhǎng)度:至 250 mm

      晶圓大小:至 8 英寸

      可放置晶圓數(shù)量: ≥ 25 片/批次(不含陪片)

      選配:

      強(qiáng)制冷卻系統(tǒng)
      N2 置換室
      50 至 150 片一體式的加工
      300mm 晶圓處理

      規(guī)格

      外部尺寸:W1500 × D1000 × H2130 mm

      加熱器:LGO加熱器

      均熱區(qū)長(zhǎng)度:至 250mm

      晶圓大?。?span style="font-family: "PingFang SC", "Microsoft YaHei", sans-serif;">至 8 英寸

      可放置晶圓數(shù)量: ≥ 25 片/批次(不含陪片)

      選配:

      強(qiáng)制冷卻系統(tǒng)
      N2 置換室
      50 至 150 片一體式的加工
      300mm 晶圓處理

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