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VF-3000 自動(dòng)立式爐管

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型號(hào)VF-3000
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/5/15 9:14:51
訪問(wèn)次數(shù)39

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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無(wú)線電綜合測(cè)試儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

這款配有自動(dòng)輸送機(jī)的低成本立式爐管可用于從研發(fā)到批量生產(chǎn) 4 至 8 英寸晶圓的一系列功能。提供超高溫處理，非常適合功率器件制造。

VF-3000 自動(dòng)立式爐管產(chǎn)品信息

概述

該立式爐管可用于 4 英寸到 8 英寸的各種晶圓大小，并可選擇小批量處理 50 至 75 片一體式。該立式爐管通過(guò)精心選擇硬件和控制系統(tǒng)組件來(lái)實(shí)現(xiàn)低價(jià)，可用于從研發(fā)到批量生產(chǎn)線等眾多功能。從 LGO 加熱器、二硅化鉬 (MoSi₂) 加熱器和碳加熱器中選擇使用一款合適的加熱器，不僅可用于低溫退火、氮化物 (Si₃N₄)、多晶硅和其他材料 LPCVD、氧化和擴(kuò)散處理，還可用于 SiC 功率器件柵硅氧氮化、活化退火和其他超高溫處理工藝。

特性

● 面向后端用戶的低成本設(shè)備

● 小批量、50 至 75 片一體式處理可用于研發(fā)及批量生產(chǎn)線

● 提供 4 至 8 英寸晶圓尺寸

● 最多 4 個(gè)晶盒儲(chǔ)料器

● 使用 LGO 加熱器，從低溫到中高溫都能實(shí)現(xiàn)出色的溫度控制

● 使用單片式機(jī)械手臂實(shí)現(xiàn)晶圓高速傳送

● 配備功能有限的簡(jiǎn)單控制系統(tǒng)

規(guī)格

外部尺寸：W1200 × D1450 × H2610 mm

加熱器：LGO加熱器

均熱區(qū)長(zhǎng)度：至 360 mm