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等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型號ALD-SC6-PE
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/5/15 9:10:55
訪問次數(shù)55

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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統(tǒng)集成、設備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復旦大學、上海微系統(tǒng)所等半導體相關專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。

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無線電綜合測試儀

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金屬有機物前驅(qū)體和反應氣體在真空腔體交替填充、覆蓋且反應，形成原子級精度（厚度和原子排布）的薄膜。

等離子體增強原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)

Plasma Enhansed Atomic Layer Deposition - PEALD

用高速隔膜閥使得前驅(qū)體以脈沖的方式填充腔體到表面吸附飽和，再使用反應氣體將腔內(nèi)表面的自由基反應成目標材料，反復執(zhí)行，即可在腔內(nèi)形成單晶超薄薄膜?？沙练e大部分氧化和氮化物薄膜，也可根據(jù)應用需求沉積硫化物，硒化物等。目標薄膜的厚度多在 0-100 nm 范圍區(qū)間，薄膜致密性好，晶格取向一致，且可覆蓋或填充各種微納結(jié)構(gòu)，是目前已知的覆蓋度較好的薄膜技術(shù)。