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- 產(chǎn)品詳細介紹
- 詳細參數(shù)
| 內(nèi)容 | 規(guī)格 | |
| A.一般規(guī)格 | ||
| 電力系統(tǒng) | AC380V 3φ 50/60HZ 75A 22KVA | |
| 光源系統(tǒng) | 光源：間接水冷式金屬鹵素?zé)簦?0KW | |
| 均勻度：≥85% 有效曝光面積：22"*25" | ||
| 照度：65mw/cm²以上 | ||
| Panel規(guī)格 | 尺寸：12"*14"至22"*25" | |
| 底片尺寸：24"*28"(610mm*711mm) | ||
| 厚度：0.2mm至3.0mm | ||
| 曝光作業(yè) | 單面雙框作業(yè)，順序進入曝光室 | |
| 底片對位系統(tǒng) | 1.CCD數(shù)量：4個 | |
| 2.CCD功能：對位準(zhǔn)度及底片漲縮檢查 | ||
| 3.對位形式：PCB自動對位 | ||
| 4.底片固定：雙溝槽式真空吸附，真空度-680mmHg以上 | ||
| 5.靶標(biāo)形式：上底片圓點，PC板PAD | ||
| 6.制程固定：Pin定位 | ||
| 7.制程板對位：自動對位±12.5μm(機臺能力) | ||
| 操作方式 | 作業(yè)方式：人工取放板 | |
| 機臺尺寸 | 外部尺寸：W1545*D3312*H2372mm | |
| 外部變電箱尺寸：W810*D830*H980mm | ||
| B.系統(tǒng)架構(gòu) | ||
| 曝光臺框 | 雙曝光臺面，玻璃VS金屬 | |
| 曝光控制器 | 智慧型人機介面及曝光能量控制 | |
| 臺面真空 | -200~-400mmHg | |
| 冷卻 | ||
| 燈室：循環(huán)間接水冷式（水套式） | ||
| 曝光室：強制氣冷式，抽取室內(nèi)空氣經(jīng)HEPA吹入曝光室 | ||
| 潔凈控制 | 潔凈度等級：Class 1000 HEPA過濾網(wǎng) | |
| 客戶提供環(huán)境及周邊設(shè)備 | （1）.室溫22℃±2℃,濕度55%±5%之清潔環(huán)境 | |
| （2）.冷卻水塔：10噸、流量120L/min、進水溫度20~30℃（依現(xiàn)場配管計算)或 | ||
| 冰水系統(tǒng)：5噸、流量60L/min、進水溫度7~11℃（依現(xiàn)場配管計算) 進出水管徑1-1/4"、排水管3/4" | ||
| (3).內(nèi)部循環(huán)水：蒸餾水60L | ||
| （4）.外接氣源：6Kgf/cm²（流量60~120L/min）管徑φ10快速接頭 | ||
