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- 產(chǎn)品詳細介紹
- 詳細參數(shù)
| 內(nèi)容 | 規(guī)格 | |
| A.一般規(guī)格 | ||
| 電力系統(tǒng) | AC380V 3φ 50/60HZ | |
| 平行光系統(tǒng) | 光源：Hg-Xe短弧燈，輸出功率5KW,單燈，雙面曝光 | |
| 平行半角（CHA）約2° | ||
| 傾斜角（DA）：<2° | ||
| 均勻度：85%以上 | ||
| 強度：15mw/cm²@ 365 nm在玻璃臺面上量測 | ||
| 有效曝光面積：22'*25" | ||
| 底片規(guī)格 | 尺寸：24"*27" | |
| Panel規(guī)格 | 尺寸：305*305mm至559*635mm(12"*12"至22"*25") | |
| 厚度：0.05mm(不含銅)至2mm | ||
| 曝光作業(yè) | 高強度/雙面曝光 | |
| 對位系統(tǒng) | 1.CCD數(shù)量：2個/4個可選 | |
| 2.對位方式：上下底片手動對位，CCD自動檢測 | ||
| 3.對準精度：±12.5μm(不含底片漲縮) | ||
| 4.底片固定：雙溝槽式真空吸附 | ||
| 曝光量設(shè)定 | 可程式時間設(shè)定曝光；可程式能量設(shè)定曝光 | |
| 操作方式 | 操作系統(tǒng)：大型觸控制式熒幕操作介面 | |
| 機臺尺寸 | 外部尺寸：3390L*1545W*2150+120Hmm 環(huán)控箱：L1300*W700*H1930 | |
| B.系統(tǒng)架構(gòu) | ||
| 曝光臺框 | 雙曝光臺面，玻璃VS玻璃 | |
| 冷卻 | 曝光室：氣冷，抽取室內(nèi)空氣加溫度控制經(jīng)HEPA吹入曝光室 | |
| 燈室：氣冷（內(nèi)循環(huán)） | ||
| 潔凈控制 | 潔凈度等級：Class 1000 HEPA 過濾網(wǎng) | |
| UV光源監(jiān)控 | ||
| 光源保護：UV燈源點燈/熄燈/重點燈保護 | ||
| 功率控制：D/A轉(zhuǎn)換瓦數(shù)微調(diào)輸出 狀態(tài)監(jiān)視：內(nèi)建電壓、電流、功率及UV強度感測器 | ||
| 遮光器：橫向開啟，裝置于燈室 內(nèi)，由無桿缸帶動 | ||
| 曝光監(jiān)控：內(nèi)建UV能量積算器 | ||
| 客戶周邊配合 | 1.電力NFB40A | |
| 2.氣壓源：5kg/cm²以上 3.冰水系統(tǒng)：7-11℃ 40L／min,1"管徑*2,1/2" 管徑*1 | ||
| 備注 | 1.不銹鋼外殼 2.氣動遮光門 | |
