- 產(chǎn)品詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
內(nèi)容 | 規(guī)格 | |
A.一般規(guī)格 | ||
電力系統(tǒng) | AC380V3φ50HZ | |
曝光系統(tǒng) | 光源:氣冷式金屬鹵素?zé)?2,5kW | |
均勻度:≥80%以上 | ||
強(qiáng)度:40mw/cm²(臺(tái)面) Puck(EIT)量測(cè) | ||
有效曝光面積:22''*25''底片尺寸:24''*27' | ||
Panel規(guī)格 | 尺寸:12''*12''至22''*25' | |
厚度:0.05mm(不含銅)至2.0mm | ||
曝光作業(yè) | 雙面同時(shí)曝光 | |
底片對(duì)位系統(tǒng) | 1.CCD數(shù)量:2個(gè)/4個(gè)可選 | |
2.CCD功能:對(duì)位準(zhǔn)度及底片漲縮檢查 | ||
3.對(duì)位形式:手調(diào)對(duì)位 | ||
4.底片固定:雙溝槽式真空吸附,真空度-650mmHg以上 | ||
5.靶標(biāo)形式:上底片圓點(diǎn),下底片圓環(huán) | ||
6.對(duì)準(zhǔn)精度:±12.5μm | ||
操作方式 | 作業(yè)方式:人工取放板,CCD檢查靶標(biāo)對(duì)準(zhǔn)誤差 | |
機(jī)臺(tái)尺寸 | 外部尺寸:3270L*1640W*1800H+120mm | |
B.系統(tǒng)架構(gòu) | ||
曝光臺(tái)框 | 雙曝光臺(tái)面,玻璃VS玻璃 | |
曝光控制器 | 智慧型人機(jī)介面及曝光能量控制 | |
臺(tái)面真空 | -180mmHg~-500mmHg | |
冷卻 | 燈室:強(qiáng)制氣冷式 | |
曝光室:強(qiáng)制氣冷式,抽取室內(nèi)空氣經(jīng)HEPA吹入曝光室 | ||
潔凈控制 | 潔凈度等級(jí):Class 10000 HEPA過濾網(wǎng) | |
客戶提供環(huán)境及周邊設(shè)備 | ||
(1).室溫21℃±2℃,濕度55%±5%之清潔環(huán)境 | ||
(2).冰水系統(tǒng):5噸、流量60L/min、進(jìn)水溫度7~11℃(依現(xiàn)場(chǎng)配管計(jì)算)進(jìn)出水管徑1-1/4''、排水管徑/4'' | ||
(3).外接氣源:5Kgf/cm²(流量40~80L/min)管徑1/4''PT快速接頭 | ||
(4).時(shí)規(guī)皮帶加裝保護(hù)外蓋 | ||
(5).玻璃大對(duì)小正壓設(shè)計(jì) | ||
(6).伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)臺(tái)框 |