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- 產(chǎn)品詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
| 內(nèi)容 | 規(guī)格 | |
| A.一般規(guī)格 | ||
| 電力系統(tǒng) | AC380V 3φ 50/60HZ | |
| 平行光系統(tǒng) | 光源：Hg-Xe短弧燈，輸出功率5KW,單燈，雙面曝光 | |
| 平行半角（CHA）：約2° 傾斜角（DA）：<2° | ||
| 均勻度：≥85% | ||
| 強(qiáng)度：15mw/cm²@ 365 nm在玻璃臺(tái)面上量測(cè) 有效曝光面積 ：546*622mm(21.5"*24.5") | ||
| Panel規(guī)格 | 尺寸：305*355mm至546*622mm(12"*14"至21.5"*24.5") | |
| 厚度：0.1mm至3.0mm(0.004"至0.117") | ||
| 曝光作業(yè) | 高強(qiáng)度/雙面曝光 | |
| 對(duì)位系統(tǒng) | 1.CCD數(shù)量：4個(gè)(可自行設(shè)定2只/3只CCD對(duì)位或底片監(jiān)控) | |
| 2.清底片警報(bào)功能程序（片數(shù)可設(shè)定） | ||
| 3.可選擇單面曝光 | ||
| 4.任取CCD取像判讀（ ） 固定取像CCD判讀（ ） | ||
| 5.制程板對(duì)位：自動(dòng)對(duì)位±20μm 6.CCD移動(dòng)：自動(dòng)到位 7.底片固定：雙溝槽式真空吸附 | ||
| 8.底片對(duì)位：自動(dòng)對(duì)位可程序時(shí)間設(shè)定曝光3組，可程序能量設(shè)定曝光4組 | ||
| 曝光量設(shè)定 | 操作系統(tǒng)：大型觸摸屏操作接口（PC+PLC） | |
| 操作方式 | 外部尺寸：L3390*W1545*H2270 | |
| 機(jī)臺(tái)尺寸 | 環(huán)控箱：L1300*W700*H1930 | |
| B.系統(tǒng)框架 | ||
| 曝光臺(tái)框 | 雙曝光臺(tái)面，玻璃VS玻璃（真空吸嘴φ8mm） | |
| 內(nèi)建臺(tái)框玻璃真空保護(hù)裝置 | ||
| 冷卻 | 燈室：由環(huán)控箱吹入燈箱冷卻 | |
| 曝光室：氣冷，抽取室內(nèi)空氣經(jīng)HEPA吹入曝光室 | ||
| 潔凈控制 | 潔凈度等級(jí)：Class 1000 HEPA 高效濾網(wǎng) | |
| UV光源監(jiān)控 | ||
| 光源保護(hù)：UV燈源點(diǎn)燈/熄燈/重點(diǎn)燈保護(hù) | ||
| 功率控制：D/A轉(zhuǎn)換瓦數(shù)微調(diào)輸出 | ||
| 狀態(tài)監(jiān)視：內(nèi)建電壓、電流、功率及UV強(qiáng)度傳感器 | ||
| 遮光器：橫向開(kāi)啟，裝置于燈室內(nèi) | ||
| 曝光監(jiān)控：內(nèi)建UV能量積算器 | ||
| 客戶外圍設(shè)備 | 規(guī)格1.電力：NFB40A 2.氣壓源：5kg/cm²以上 | |
| 4.冰水系統(tǒng)：7-11℃/40｜／min,1"管徑*2,1/2"管徑*11.內(nèi)建內(nèi)層三明治及CCD曝光模式 | ||
| 2.制程板固定Pin種類(lèi) | ||
| φ1.98（ ）φ2.02（ ）φ3.125（ ）φ3.0（ ） | ||
