- 產(chǎn)品詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
內(nèi)容 | 規(guī)格 | |
A.一般規(guī)格 | ||
電力系統(tǒng) | AC380V 3φ 50/60HZ | |
平行光系統(tǒng) | 光源:Hg-Xe短弧燈,輸出功率5KW,單燈,雙面曝光 | |
平行半角(CHA):約2° 傾斜角(DA):<2° | ||
均勻度:≥85% | ||
強(qiáng)度:15mw/cm²@ 365 nm在玻璃臺(tái)面上量測(cè) 有效曝光面積 :546*622mm(21.5"*24.5") | ||
Panel規(guī)格 | 尺寸:305*355mm至546*622mm(12"*14"至21.5"*24.5") | |
厚度:0.1mm至3.0mm(0.004"至0.117") | ||
曝光作業(yè) | 高強(qiáng)度/雙面曝光 | |
對(duì)位系統(tǒng) | 1.CCD數(shù)量:4個(gè)(可自行設(shè)定2只/3只CCD對(duì)位或底片監(jiān)控) | |
2.清底片警報(bào)功能程序(片數(shù)可設(shè)定) | ||
3.可選擇單面曝光 | ||
4.任取CCD取像判讀( ) 固定取像CCD判讀( ) | ||
5.制程板對(duì)位:自動(dòng)對(duì)位±20μm 6.CCD移動(dòng):自動(dòng)到位 7.底片固定:雙溝槽式真空吸附 | ||
8.底片對(duì)位:自動(dòng)對(duì)位可程序時(shí)間設(shè)定曝光3組,可程序能量設(shè)定曝光4組 | ||
曝光量設(shè)定 | 操作系統(tǒng):大型觸摸屏操作接口(PC+PLC) | |
操作方式 | 外部尺寸:L3390*W1545*H2270 | |
機(jī)臺(tái)尺寸 | 環(huán)控箱:L1300*W700*H1930 | |
B.系統(tǒng)框架 | ||
曝光臺(tái)框 | 雙曝光臺(tái)面,玻璃VS玻璃(真空吸嘴φ8mm) | |
內(nèi)建臺(tái)框玻璃真空保護(hù)裝置 | ||
冷卻 | 燈室:由環(huán)控箱吹入燈箱冷卻 | |
曝光室:氣冷,抽取室內(nèi)空氣經(jīng)HEPA吹入曝光室 | ||
潔凈控制 | 潔凈度等級(jí):Class 1000 HEPA 高效濾網(wǎng) | |
UV光源監(jiān)控 | ||
光源保護(hù):UV燈源點(diǎn)燈/熄燈/重點(diǎn)燈保護(hù) | ||
功率控制:D/A轉(zhuǎn)換瓦數(shù)微調(diào)輸出 | ||
狀態(tài)監(jiān)視:內(nèi)建電壓、電流、功率及UV強(qiáng)度傳感器 | ||
遮光器:橫向開(kāi)啟,裝置于燈室內(nèi) | ||
曝光監(jiān)控:內(nèi)建UV能量積算器 | ||
客戶外圍設(shè)備 | 規(guī)格1.電力:NFB40A 2.氣壓源:5kg/cm²以上 | |
4.冰水系統(tǒng):7-11℃/40|/min,1"管徑*2,1/2"管徑*11.內(nèi)建內(nèi)層三明治及CCD曝光模式 | ||
2.制程板固定Pin種類(lèi) | ||
φ1.98( )φ2.02( )φ3.125( )φ3.0( ) |